广东鼎泰机器人科技有限公司王俊锋获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉广东鼎泰机器人科技有限公司申请的专利一种等离子蚀刻设备及蚀刻除胶方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116347774B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310406231.1，技术领域涉及：H05K3/00；该发明授权一种等离子蚀刻设备及蚀刻除胶方法是由王俊锋;周敏;刘谋苗;黎志跃;彭子阳;冯瑞清设计研发完成，并于2023-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种等离子蚀刻设备及蚀刻除胶方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种等离子蚀刻设备及蚀刻除胶方法，通过在电极板中嵌入永磁铁组，永磁铁组的充磁面与电极板的平面相互垂直，所述永磁铁组的充磁面与所述电极板的平面相互垂直,以使通电状态下不同所述电极板间产生的磁场与所述电极板上产生的交变电场相互垂直，在交变电场的作用下，将反应气体离化为等离子体，通过磁场的合理布置，在磁场的作用下，等离子体的浓度和化学活性增加，从而提高对孔内残胶的咬蚀速度和均匀性。
本发明授权一种等离子蚀刻设备及蚀刻除胶方法在权利要求书中公布了：1.一种等离子蚀刻设备，其特征在于，包括蚀刻箱体，所述蚀刻箱体的内部形成有蚀刻腔室；所述蚀刻腔室设置有用于充入反应气体的进气口和用于抽真空的抽气口；所述蚀刻腔室内设置有若干个第一电极板和第二电极板，所述第一电极板和第二电极板相互平行且间隔设置，所述第一电极板和第二电极板之间在通电状态下产生交变电场，所述第一电极板和第二电极板之间设有与所述交变电场相互垂直的磁场； 所述蚀刻腔室内划分有第一区域和第二区域，所述磁场包括第一磁场和第二磁场，所述第一区域内布设有所述第一磁场，所述第二区域内布设有所述第二磁场； 所述第一区域范围内的等离子体密度大于所述第二区域范围内的等离子体密度，所述第一磁场的磁性小于所述第二磁场的磁性； 所述第一电极板和所述第二电极板上均平行设置有若干个安装槽，所述安装槽内安装有用于产生与所述交变电场相互垂直的磁场的永磁铁组。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人广东鼎泰机器人科技有限公司，其通讯地址为：523000 广东省东莞市厚街镇赤岭工业一环路12号之一2号楼101室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励