华芯程(杭州)科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉华芯程(杭州)科技有限公司申请的专利一种亚分辨率辅助图形曝光模型的训练方法及相关装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116362993B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310108464.3，技术领域涉及：G06T5/90；该发明授权一种亚分辨率辅助图形曝光模型的训练方法及相关装置是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2023-02-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种亚分辨率辅助图形曝光模型的训练方法及相关装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种亚分辨率辅助图形曝光模型的训练方法及相关装置，应用于辅助图形曝光技术领域，包括获取亚分辨率辅助图形曝光后形成的印出图像并提取印出轮廓；印出轮廓中保留亚分辨率辅助图形对应的轮廓；对印出图像进行网格划分，在印出图像形成网格；每一网格中设置有校正标尺；基于校正标尺确定每一网格中辅助图形印出轮廓覆盖的面积占比；以面积占比作为输入值对初始模型进行训练，得到曝光模型。通过在印出图像中划分出网格，计算辅助图形印出轮廓在每一网格中的面积占比，该面积占比并非二元数据，可以精确的表征亚分辨率辅助图形的印出程度。通过面积占比对初始模型进行训练，可以使得训练完成的曝光模型具有更高的准确性。
本发明授权一种亚分辨率辅助图形曝光模型的训练方法及相关装置在权利要求书中公布了：1.一种亚分辨率辅助图形曝光模型的训练方法，其特征在于，包括： 获取亚分辨率辅助图形曝光后形成的印出图像并提取印出轮廓； 对所述印出图像进行网格划分，在所述印出图像形成网格；每一所述网格中设置有校正标尺； 基于所述校正标尺确定每一所述网格中所述亚分辨率辅助图形曝光后的辅助图形印出轮廓覆盖的面积占比； 根据所述面积占比对初始模型进行训练，得到曝光模型； 所述基于所述面积占比对初始模型进行训练，得到曝光模型包括： 根据所述面积占比以及所述网格，生成用于表征所述辅助图形印出轮廓形貌的辅助图形数据； 根据所述辅助图形数据对初始模型进行训练，得到曝光模型； 根据所述面积占比以及所述网格，生成用于表征所述辅助图形印出轮廓形貌的辅助图形数据包括： 将所述面积占比填入对应的网格，形成所述辅助图形数据；所述辅助图形数据表征辅助图形印出轮廓在各个方向上的长度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人华芯程(杭州)科技有限公司，其通讯地址为：311113 浙江省杭州市余杭区良渚街道金昌路2008、2010号2幢4311室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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