哈尔滨工业大学李粤超获国家专利权
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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利微纳弧度量级二维角度检查装置与方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116448044B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310474164.7,技术领域涉及:G01B21/22;该发明授权微纳弧度量级二维角度检查装置与方法是由李粤超;石剑;谭久彬设计研发完成,并于2023-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本微纳弧度量级二维角度检查装置与方法在说明书摘要公布了:本发明提出微纳弧度量级二维角度检查装置与方法。该装置由角度发生装置、底座、角度测量装置、驱动模块电路板、主控模块电路板以及显示、输入模块电路板组成;该方法使用两套驱动装置和两台自准直仪,分别将小角度检查仪的角度发生能力与角度测量能力扩展至滚转角与俯仰角两个方向,从而使小角度检查仪具有发生二维标准角度的能力;本发明将角度测量装置的分辨力提升至微纳弧度量级,因此解决了小角度检查仪不具备高分辨力的问题;将行程大、位移分辨力低的丝杠电机与行程小、位移分辨力高的压电陶瓷组合使用,分别实现大行程范围内的粗定位及小范围的精确补偿,从而使角度发生装置具有在全行程内发生微纳弧度量级微小角度的优势。
本发明授权微纳弧度量级二维角度检查装置与方法在权利要求书中公布了:1.微纳弧度量级二维角度检查装置,其特征在于,包括角度发生装置、底座7、角度测量装置、驱动模块电路板12、主控模块电路板13及显示、输入模块电路板14;所述显示、输入模块电路板14接收到角度检定需求后,通过主控模块电路板13将角度发生需求发送至驱动模块电路板12,使带筋工作台1在滚转或俯仰方向发生偏转;角度测量装置实时检测带筋工作台1在二维方向上的偏转角度,将测量结果发送回主控模块电路板13;主控模块电路板13根据角度测量结果控制角度发生装置,实现闭环反馈补偿; 所述角度发生装置由带筋工作台1、工作台转轴2、工作台支撑件3、驱动装置4组成,所述驱动装置4包括第一压电陶瓷41、第一丝杠电机42、第二压电陶瓷43和第二丝杠电机44,工作台转轴2与工作台支撑件3同轴,第一压电陶瓷41与第一丝杠电机42同轴,第二压电陶瓷43与第二丝杠电机44同轴;工作台支撑件3与第一丝杠电机42在底座7上的位置均位于同一条平行于滚转角旋转轴的直线上,工作台支撑件3与第二丝杠电机44在底座7上的位置均位于同一条平行于俯仰角旋转轴的直线上;带筋工作台1通过工作台转轴2与工作台支撑件3连接,在驱动装置4推动下可在滚转与俯仰两个方向发生微小角度; 所述角度测量装置由第一平面反射镜8、第二平面反射镜9、第一自准直仪10、第二自准直仪11组成;带筋工作台1在二维方向偏转后,第一自准直仪10通过第一平面反射镜8测量滚转角,第二自准直仪11通过第二平面反射镜9测量俯仰角; 所述第一压电陶瓷41与第一丝杠电机42、第二压电陶瓷43与第二丝杠电机44分别组成两套宏微联合驱动装置;第一丝杠电机42、第二丝杠电机44实现大行程范围内的粗定位后,第一压电陶瓷41、第二压电陶瓷43在角度测量装置的闭环反馈下做精确补偿; 所述角度发生装置与角度测量装置均位于底座7上。
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