南京邮电大学朱刚毅获国家专利权
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龙图腾网获悉南京邮电大学申请的专利一种基于氮化镓的八梁结构惯导系统及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116499460B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310470161.6,技术领域涉及:G01C21/16;该发明授权一种基于氮化镓的八梁结构惯导系统及其制备方法是由朱刚毅;孙志伟;樊学峰;秦飞飞;孙雷孟;梁金星设计研发完成,并于2023-04-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于氮化镓的八梁结构惯导系统及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于氮化镓的八梁结构惯导系统及其制备方法,该惯导系统以硅基氮化物为载体,包括从下至上依次设置的硅衬底层、氮化铝层、n型氮化镓层、量子肼层、p型氮化镓层、设置在所述p型氮化镓层上的p型电极、设置在所述n型氮化镓层边缘的n型电极,硅衬底层进行悬空,形成一个位于氮化铝层下方的上窄下宽的梯形底座。整个惯导系统由4个p型和4个n型电极首尾相连,构成一个正八边形,分别测量东西南北以及东北、东南、西北、西南八个方向的角速度和线速度。
本发明授权一种基于氮化镓的八梁结构惯导系统及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种基于氮化镓的八梁结构惯导系统,其特征在于,包括八条首尾相接的梁,八条梁围成八边形,八条梁之间的连接处设置电极,每条梁用于测量其所在方向的角速度和线速度; 每条梁包括硅衬底层1、氮化铝层2、n型氮化镓层3、量子阱层4和p型氮化镓层5,所述硅衬底层1包括底面和设于底面的硅柱,所述硅柱支撑氮化铝层2,所述氮化铝层2的上表面连接n型氮化镓层3,所述n型氮化镓层3的边缘处呈阶梯状台面,所述量子阱层4设于呈阶梯状台面的上台面,所述p型氮化镓层5设于量子阱层4的上表面,所述p型氮化镓层5的上表面以及呈阶梯状台面的下台面均设有电极; 所述电极包括p型电极6和n型电极7,所述p型电极6设于p型氮化镓层5上表面,所述n型电极7设于呈阶梯状台面的下台面; p型电极6和n型电极7均为环形电极。
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