上海微电子装备(集团)股份有限公司王晶获国家专利权
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龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利激光功率调谐衰减装置和退火设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116558633B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210112647.8，技术领域涉及：G01J1/00；该发明授权激光功率调谐衰减装置和退火设备是由王晶;周伟;黄元昊;单天祥设计研发完成，并于2022-01-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本激光功率调谐衰减装置和退火设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种激光功率调谐衰减装置和退火设备，激光功率调谐衰减装置包括反射式偏振旋转单元和偏振分光反射镜，反射式偏振旋转单元中的反射镜的入射面位于同一平面；反射式偏振旋转单元用于接收入射光且绕入射光的光轴可旋转设置，入射光相对于入射面的相互垂直的s光与p光经反射式偏振旋转单元后的相位延迟量总和为180°的奇数倍，以使得经反射式偏振旋转单元后的出射光的偏振方向相对于入射光的偏振方向旋转一定角度，出射光经偏振分光反射镜反射得到功率衰减后的输出光。本发明的技术方案能够实现对高功率激光退火设备中的激光功率衰减的精确控制的同时，还能保持输出光的形貌尺寸及指向性的稳定性，从而提升退火工艺指标。
本发明授权激光功率调谐衰减装置和退火设备在权利要求书中公布了：1.一种激光功率调谐衰减装置，其特征在于，包括反射式偏振旋转单元和偏振分光反射镜，所述反射式偏振旋转单元包括至少两个反射镜，所有的所述反射镜的入射面位于同一平面；所述反射式偏振旋转单元用于接收入射光，所述反射式偏振旋转单元绕所述入射光的光轴可旋转设置，所述入射光相对于所述入射面的相互垂直的s光与p光经所述反射式偏振旋转单元后的相位延迟量总和为180°的奇数倍，以使得经所述反射式偏振旋转单元后的出射光的偏振方向相对于所述入射光的偏振方向旋转一定角度，所述出射光经所述偏振分光反射镜反射得到功率衰减后的输出光；所述反射式偏振旋转单元旋转至入射面与所述入射光的偏振方向的夹角为θ时，所述出射光的偏振方向相对于所述入射光的偏振方向旋转角度为2θ。
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