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龙图腾网获悉中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心申请的专利一种MEMS加速度计非线性度批量测试装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116626340B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310289938.9，技术领域涉及：G01P21/02；该发明授权一种MEMS加速度计非线性度批量测试装置及方法是由周建国;徐彤设计研发完成，并于2023-03-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种MEMS加速度计非线性度批量测试装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种MEMS加速度计非线性度批量测试装置及方法，包括测试工装，所述测试工装固定于离心机上，并在测试工装上安装多个MEMS加速度计，各MEMS加速度计分别连接到多通道的模数转换器的输入端，转换为数字信号，模数转换器输出数字信号依次通过微控制器、串口电平转换芯片转换为串口数据。本发明在测试工位上安装测试工装增加测试器件数量、将器件输出信号转换以及数据自动处理的方式提高测试效率、降低测试成本，实现单次多只器件同步测试、正负向同步测试的批量化测试方式。本发明基于MEMS加速度计敏感轴向分为两种，设计两种不同的测试工装，以适应不同的MEMS加速度测试。

本发明授权一种MEMS加速度计非线性度批量测试装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种MEMS加速度计非线性度批量测试方法，其特征在于，采用一种MEMS加速度计非线性度批量测试装置，测试装置包括测试工装，所述测试工装固定于离心机上，并在测试工装上安装多个MEMS加速度计，各MEMS加速度计分别连接到多通道的模数转换器的输入端，转换为数字信号，模数转换器输出数字信号依次通过微控制器、串口电平转换芯片转换为串口数据； 测试方法包括步骤： S1、将测试工装安装于离心机台面上，使MEMS加速度计敏感轴向与精密离心机圆心至测试工装底面中心的半径方向平行；将MEMS加速度计放于测试工装夹具中； S2、连接相应线缆并通过电源为MEMS加速度计供电，测试MEMS加速度计输出以保证连接正确； S3、离心机上电、使能，控制离心机以位置模式使其分别旋转为位置：0º、90º、180º和270º，记录并计算所有MEMS加速度计四个位置输出均值，分别为Vip0、Vip90、Vip180和Vip270，i表示MEMS加速度计序号； S4、控制离心机以离心力模式转动1g，记录并计算所有MEMS加速度计在默认半径400mm下1g下的输出均值Vi1g； S5、通过公式1计算MEMS加速度计半径： 1 式中： 为第i个加速度计的半径，单位：毫米mm； 为第i个加速度计的标度因数，单位：数字量每重力加速度LSBg； S6、按照公式2根据MEMS加速度计半径计算输入g值数组的角速度数组，角速度向上取整，因正向安装的加速度计半径近似相同、负向安装的加速度计半径近似相同，取正向和负向两列角速度数组； 2 式中： 为g值数组第i个g值，单位：重力加速度g； 为g值数组第i个g值对应的角速度，单位：度每秒°s； S7、按照计算得出的正向和负向角速度数组进行旋转，记录并计算各转速下的MEMS加速度计输出均值，并根据正向角速度和负向角速度取相应的MEMS加速度计输出； S8、根据MEMS加速度计的半径和正向、负向的角速度数组计算相应的离心加速度输入数组，如公式3所示： 3 式中： 为对应的加速度，单位：重力加速度g； 为g值数组第i个g值对应的角速度，单位：度每秒°s； 为第i个加速度计的半径，单位：毫米mm； S9、根据MEMS加速度计的输出均值数组和对应的离心加速度输入数组通过最小二乘法计算正向或负向的非线性度，如公式4所示； 4 式中： 为加速度计在第i个转速度点对应的拟合值，单位：数字量LSB； 为加速度计在第i个转速点输出的平均值，单位：数字量LSB； 为拟合直线的斜率，即加速度计拟合标度因数,单位：数字量每重力加速度LSBg； 为加速度量的上限值或下限值的绝对值，单位：重力加速度g； S10、将测试工装旋转180º后固定，重复步骤S2至步骤S9计算MEMS加速度计负向或正向的非线性度，取单只MEMS加速度计正向和负向非线性度的较大值为MEMS加速度计的非线性度。

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