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美商楼氏电子有限公司P·V·洛佩特获国家专利权

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龙图腾网获悉美商楼氏电子有限公司申请的专利微机电系统管芯和微机电系统装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116768143B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310231300.X,技术领域涉及:B81B7/02;该发明授权微机电系统管芯和微机电系统装置是由P·V·洛佩特;M·佩德森设计研发完成,并于2023-03-10向国家知识产权局提交的专利申请。

微机电系统管芯和微机电系统装置在说明书摘要公布了:本申请涉及微机电系统管芯和微机电系统装置。微机电系统MEMS装置包括MEMS管芯,该MEMS管芯包括第一振膜和第二振膜,各自设置在第一振膜上的第一多个电极,以及各自设置在第二振膜上的第二多个电极。固定介电元件设置在第一振膜和第二振膜之间并包括多个孔。MEMS管芯还包括第三多个电极,其中,第三多个电极中的每一个包括:第一导电层,第一导电层邻近第一多个电极中的至少一个设置在第一振膜上;第二导电层,第二导电层邻近第二多个电极中的至少一个设置在第二振膜上;以及导电引脚,所述导电引脚延伸穿过多个孔的一个孔并将第一导电层电连接到第二导电层。

本发明授权微机电系统管芯和微机电系统装置在权利要求书中公布了:1.一种微机电系统MEMS管芯,所述微机电系统MEMS管芯包括: 第一振膜; 第二振膜; 第一多个电极,所述第一多个电极中的每一个设置在所述第一振膜上; 第二多个电极,所述第二多个电极中的每一个设置在所述第二振膜上; 固定介电元件,所述固定介电元件设置在所述第一振膜与所述第二振膜之间并且包括多个孔;以及 第三多个电极,所述第三多个电极中的每一个包括: 第一导电层,所述第一导电层邻近所述第一多个电极中的至少一个设置在所述第一振膜上; 第二导电层,所述第二导电层邻近所述第二多个电极中的至少一个设置在所述第二振膜上,以及 导电引脚,所述导电引脚延伸穿过所述多个孔中的一个孔,并且将所述第一导电层电连接至所述第二导电层, 其中,所述第一振膜和所述第二振膜相对于所述固定介电元件的移动改变所述微机电系统MEMS管芯的电容,并且 其中,所述固定介电元件没有导电层。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人美商楼氏电子有限公司,其通讯地址为:美国伊利诺伊州;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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