应用材料公司B·切里安获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利使用神经网络的光谱监测获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116833898B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310801698.6，技术领域涉及：B24B37/005；该发明授权使用神经网络的光谱监测是由B·切里安设计研发完成，并于2017-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本使用神经网络的光谱监测在说明书摘要公布了：处理基板的方法包括以下步骤：使基板经受修改所述基板的外层的厚度的处理，在处理期间测量从所述基板反射的光的光谱，缩减测得的光谱的维度以产生多个分量值，使用人工神经网络产生表征值，以及基于所述表征值来确定停止处理所述基板或调整处理参数中的至少一个。所述人工神经网络具有接收所述多个分量值的多个输入节点、输出所述表征值的输出节点以及将所述输入节点连接至所述输出节点的多个隐藏节点。
本发明授权使用神经网络的光谱监测在权利要求书中公布了：1.一种计算机可读取介质，所述计算机可读取介质包括用于使一个或多个计算机执行以下操作的指令： 从原位光监测系统接收从正进行抛光的基板的层反射的光的测得的光谱； 缩减所述测得的光谱的维度以产生多个分量值； 接收一个或多个处理变量或环境变量的一个或多个值； 产生表征值，所述表征值表示在所述光谱被测量时所述基板通过抛光处理的进展程度，其中通过使用人工神经网络基于所述多个分量值和所述一个或多个处理变量或环境变量来产生所述表征值，所述人工神经网络具有多个输入节点、输出所述表征值的输出节点以及将所述输入节点连接至所述输出节点的多个隐藏节点，所述多个输入节点包括接收所述多个分量值的多重输入节点以及接收所述一个或多个处理变量或环境变量的值的一个或多个输入节点；以及 基于所述表征值来确定是否停止所述基板的抛光或抛光参数的调整中的至少一个。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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