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龙图腾网获悉中国船舶集团有限公司第七〇七研究所申请的专利基于有机硅烷获得高Q值石英半球谐振子表面镀Au膜方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116970910B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310739487.4，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权基于有机硅烷获得高Q值石英半球谐振子表面镀Au膜方法是由赵小明;韦路锋;韩鹏宇;冯小波;王妍妍;崔云涛;田纪遨设计研发完成，并于2023-06-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于有机硅烷获得高Q值石英半球谐振子表面镀Au膜方法在说明书摘要公布了：本发明属于谐振陀螺精密制造技术领域，解决石英半球谐振子表面低损耗镀Au膜的问题，本发明涉及一种基于有机硅烷获得高Q值石英半球谐振子表面镀Au膜方法，包括：将半球谐振子放在清洗工装上，依次采用丙酮、异丙醇、酒精和去离子水进行超声清洗，随后在烘箱中烘干待用，去除表面吸附水分子；采用食人鱼溶液对谐振子表面进行羟基化处理，在谐振子表面形成均匀的羟基；采用有机硅烷对谐振子表面进行氨基化处理，在谐振子表层形成一层有机硅烷分子；将氨基化谐振子冲洗干净并吹干；将氨基化谐振子放在镀膜机中镀Au薄膜，使氨基与Au薄膜形成共价键，在谐振子表形成牢固的纯Au薄膜。本发明提高了Au膜与SiO2基体的结合力、保持Au薄膜性能，形成了低损耗界面与高纯低损耗薄膜，提高了镀膜谐振子Q值。

本发明授权基于有机硅烷获得高Q值石英半球谐振子表面镀Au膜方法在权利要求书中公布了：1.一种基于有机硅烷获得高Q值石英半球谐振子表面镀Au膜方法，其特征在于：包括如下步骤： 步骤1：将半球谐振子放在清洗工装上，依次采用丙酮、异丙醇、酒精和去离子水进行超声清洗，随后在烘箱中进行烘干待用，彻底去除表面吸附水分子； 步骤2：采用食人鱼溶液对谐振子表面进行羟基化处理，在谐振子表面形成均匀的羟基，使得谐振子表面润湿角减小； 步骤3：采用有机硅烷对谐振子表面进行氨基化处理，在谐振子表层形成一层有机硅烷分子，有机硅烷一端与谐振子表面羟基反应形成Si-O-Si共价键，另一端以-NH2氨基形式暴露； 步骤4：将氨基化谐振子冲洗干净，并吹干； 步骤5：将氨基化谐振子放在镀膜机中镀Au膜，使氨基与Au膜形成共价键，在谐振子表面形成牢固的纯Au膜；镀膜机采用磁控溅射镀膜机； 所述镀Au膜方法利用有机硅烷一端与谐振子表面羟基反应形成Si-O-Si共价键，另一端以-NH2氨基形式与Au原子形成共价键，使得Au膜在谐振子表面高结合力均匀性生长，进而在Au膜与谐振子基体之间形成低损耗界面，获得高Q值谐振子； 所述镀Au膜方法利用有机硅烷在Au与谐振子之间形成界面，提高了Au膜在谐振子基体上结合力，同时使Au膜纯度与溅射靶材纯度基本一致，达到99.999wt%，这种高纯的Au膜具有低损耗特性，进而获得高Q值谐振子。

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