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龙图腾网获悉西安交通大学申请的专利一种氟化镁陶瓷表面盲槽的飞秒激光加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117206666B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311328105.5，技术领域涉及：B23K26/00；该发明授权一种氟化镁陶瓷表面盲槽的飞秒激光加工方法是由王文君;黄灵霞;梅雪松;刘斌;李祥明设计研发完成，并于2023-10-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种氟化镁陶瓷表面盲槽的飞秒激光加工方法在说明书摘要公布了：一种氟化镁陶瓷表面盲槽的飞秒激光加工方法，先采用热压多晶氟化镁作为样品；然后搭建飞秒激光振镜加工系统，将样品置于精密运动平台，调节精密运动平台与扫描振镜的相对位置使样品上表面位于焦平面处；最后经飞秒激光振镜加工系统中的计算机调控激光单脉冲能量、重复频率、扫描速度、扫描间距、扫描次数的加工参数，以两步多道平行线扫描方式在氟化镁陶瓷表面获得表面低损伤、低粗糙度盲槽结构；以分步多次扫描的方式加工得到盲槽的外轮廓，盲槽内部材料与沉积材料通过较小的激光单脉冲能量和较大的扫描速度，采用多平行线的扫面方式去除；本发明具有陶瓷材料表面低损伤、盲槽低粗糙度的优点，实现陶瓷材料表面盲槽的高质量加工。

本发明授权一种氟化镁陶瓷表面盲槽的飞秒激光加工方法在权利要求书中公布了：1.一种氟化镁陶瓷表面盲槽的飞秒激光加工方法，其特征在于，包括以下步骤： 1采用热压多晶氟化镁作为样品9； 2搭建飞秒激光振镜加工系统，将样品9置于精密运动平台10，调节精密运动平台10与扫描振镜7的相对位置使样品9上表面位于焦平面处； 飞秒激光振镜加工系统包括飞秒激光器1，飞秒激光器1产生的激光束依次经过第一反射镜2和λ4波片3，λ4波片3将光束从线偏振光转换为圆偏振光；光束再进入扩束镜4和环驱动可调光阑5，对光束进行扩束准直同时减少光束外围杂光；之后利用第二反射镜6将光束导入扫描振镜7和场镜8，将光束聚焦得到能量集中的光斑；聚焦后的光斑辐照在精密运动平台10上的样品9上表面；使用装载有软件的计算机11控制飞秒激光器1、扫描振镜7、精密运动平台10； 3飞秒激光振镜加工系统中的计算机11调控激光单脉冲能量、重复频率、扫描速度、扫描间距、扫描次数的加工参数，以两步多道平行线扫描方式在氟化镁陶瓷表面获得表面低损伤、低粗糙度盲槽结构； 所述步骤3中两步多道平行线扫描方式采用样品不动、激光动的加工方式，第一步加工盲槽外轮廓，第二步去除盲槽内部材料和沉积材料，两步激光扫描路径的总宽度不同，第二步扫描路径的总宽度比第一步扫描路径宽度小；两步加工过程样品9与扫描振镜7的相对位置不改变； 所述步骤3中两步多道平行线扫描方式的具体参数是，第一步140μJ的激光单脉冲能量、10kHz的激光重复频率、2mms的扫描速度扫描1次加工出盲槽外轮廓；第二步40μJ的激光单脉冲能量、10kHz的激光重复频率、200mms的扫描速度、15μm的扫描间距，按照单方向平行线的扫描10-20次去除盲槽内部材料及沉积材料。

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