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龙图腾网获悉中国科学院西安光学精密机械研究所申请的专利一种基于电弧效应的金刚石内部流道制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117300359B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311279611.X，技术领域涉及：B23K26/348；该发明授权一种基于电弧效应的金刚石内部流道制备方法是由王宁;赵华龙;赵卫设计研发完成，并于2023-09-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于电弧效应的金刚石内部流道制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种基于电弧效应的金刚石内部流道制备方法，用于解决现有的流道加工方法难以加工金刚石内部流道，或者加工出的内部流道无法满足芯片微纳米级尺度要求的技术问题。本发明提供的金刚石内部流道制备方法为：先通过激光束在金刚石表面加工出表面流道，再将金刚石放置在密封容器内，通过微波发生器向密封容器内发射微波，使微波聚焦在表面流道上，且使微波的聚焦焦点直径大于表面流道的宽度；微波在表面流道的两个尖端分别形成电弧，两个电弧交叉重叠形成混合电弧；当表面流道被混合电弧完全屏蔽后，在金刚石表面逐层沉积C元素，形成成品金刚石，完成金刚石内部流道的制备，本发明制备的内部流道可以满足芯片微纳米级的尺度要求。

本发明授权一种基于电弧效应的金刚石内部流道制备方法在权利要求书中公布了：1.一种基于电弧效应的金刚石内部流道制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 1]将激光束1聚焦在金刚石2的表面，通过激光束1在金刚石2的表面加工出表面流道3； 2]将加工出表面流道3的金刚石2放置在密封容器4内，同时在密封容器4外部放置微波发生器5，通过微波发生器5向密封容器4内发射微波6；所述密封容器4的侧壁为微波可穿透材料，密封容器4内为真空环境；所述微波发生器5发射的微波6为频率在300MHz-300GHz的电磁波，且微波6的能量大于10mWcm2；所述密封容器4的真空度大于0.1Mpa； 3]调节微波6的聚焦位置和聚焦焦点大小，使微波6聚焦在金刚石2的表面流道3上，且使微波6的聚焦焦点直径大于表面流道3的宽度；定义表面流道3在宽度方向上的两个棱边为尖端，则微波6在两个尖端分别产生电弧效应，形成相应的两个电弧7；位于两个尖端的电弧7交叉重叠，在表面流道上方的宽度方向上形成一个混合电弧； 4]判断表面流道3是否被混合电弧完全屏蔽，若是，则执行步骤5，若否，则返回步骤3]，并调节微波6的聚焦位置，直至表面流道3被混合电弧完全屏蔽； 5]向密封容器4内通入加压压力大于0.1MPa的甲烷气体，使甲烷气体喷射在屏蔽了混合电弧的金刚石2表面，同时在密封容器4内形成热环境，甲烷气体在热环境的热作用下产生解离，分离出H元素和C元素，H元素挥发，C元素在金刚石2表面逐层沉积，形成成品金刚石9，完成金刚石内部流道的制备。

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