华中科技大学余洪斌获国家专利权
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龙图腾网获悉华中科技大学申请的专利大带宽、应力不敏感的超声换能器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117654865B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410050074.X，技术领域涉及：B06B1/06；该发明授权大带宽、应力不敏感的超声换能器是由余洪斌;王岩;吕途南;张峻宁设计研发完成，并于2024-01-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本大带宽、应力不敏感的超声换能器在说明书摘要公布了：本发明涉及MEMS超声换能器技术领域，特别是涉及大带宽、应力不敏感的超声换能器，包括：基板和振膜，所述基板包括衬底，所述衬底中央区域设置有空腔，所述空腔位于所述振膜下方，且所述空腔的形状与所述振膜的形状相适配，所述振膜附着在所述衬底上；所述振膜包括自上至下依次设置的顶电极、压电层、底电极和支撑层，所述顶电极、压电层、底电极和支撑层的形状均为环形，所述支撑层包括外围环形结构和内围悬臂梁结构，所述内围悬臂梁结构之间形成狭缝。本发明提供的换能器宽带更宽，在超声波感测应用时，具有更高的感测精度与更小的探测盲区。
本发明授权大带宽、应力不敏感的超声换能器在权利要求书中公布了：1.大带宽、应力不敏感的超声换能器，其特征在于，包括：基板和振膜，所述基板包括衬底，所述衬底中央区域设置有空腔，所述空腔位于所述振膜下方，且所述空腔的形状与所述振膜的形状相适配，所述振膜附着在所述衬底上； 所述振膜包括自上至下依次设置的顶电极、压电层、底电极和支撑层，所述顶电极、压电层、底电极和支撑层的形状均为环形，所述支撑层包括外围环形结构和内围悬臂梁结构，所述内围悬臂梁结构之间形成狭缝。
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