中建材玻璃新材料研究院集团有限公司王天齐获国家专利权
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龙图腾网获悉中建材玻璃新材料研究院集团有限公司申请的专利一种磁控溅射用布气供气装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119433473B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411538426.2，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种磁控溅射用布气供气装置是由王天齐;金克武;彭塞奥;王金磊;姚婷婷;李刚设计研发完成，并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁控溅射用布气供气装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种磁控溅射用布气结构，它包括主气管1，其特征在于：在主气管1两端端部分别设有一个布气单元2，在两个布气单元2之间设有对应配合的阴极3。本发明提供的布气结构提升工艺气体的均匀性，以提高磁控溅射形成的薄膜质量，可以更方便的调节阴极靶材的气体分布量，由于在阴极两边工艺气体直喷，可以均匀覆盖在靶材表面也节省工艺气体的用量。
本发明授权一种磁控溅射用布气供气装置在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射用布气结构，它包括主气管1，其特征在于：在主气管1两端端部分别设有一个布气单元2，在两个布气单元2之间设有对应配合的阴极3，所述布气单元2包括：与主气管1可拆卸连接的套筒2a，套筒2a下端密封，在套筒2a内的主气管1上连接有一组布气管2b，各布气管2b长度不同，在套筒2a的近阴极3的一侧筒壁上均布有一组气孔2c；所述一组布气管2b为五根沿直径方向成排分布，从远阴极3的一侧到近阴极3的一侧五根布气管2b的长度为逐一递减。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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