西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安欣芯材料科技有限公司曹智获国家专利权
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龙图腾网获悉西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安欣芯材料科技有限公司申请的专利一种晶圆输送机器人获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119694956B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411656217.8，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权一种晶圆输送机器人是由曹智;李宇卓设计研发完成，并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆输送机器人在说明书摘要公布了：本申请提供了一种晶圆输送机器人，包括：机器人输送端；取放机构，设置于所述机器人输送端，用于夹持和松开晶圆以及驱动被夹持的所述晶圆自转；翻转机构，设置于所述机器人输送端，用于驱动所述取放机构翻转；检测组件，设置于所述机器人输送端、所述取放机构和或所述翻转机构，并用于检测被夹持的所述晶圆的缺口位置。此晶圆输送机器人集成了晶圆输送、晶圆对齐和晶圆翻转这三项功能，使得晶圆无需再在相对独立设置的机器人、对齐装置和翻转装置之间进行多次流转，简化了晶圆的流转过程，提高了晶圆的生产效率。
本发明授权一种晶圆输送机器人在权利要求书中公布了：1.一种晶圆输送机器人，其特征在于，包括： 机器人输送端； 取放机构，设置于所述机器人输送端，用于夹持和松开晶圆以及驱动被夹持的所述晶圆自转； 翻转机构，设置于所述机器人输送端，用于驱动所述取放机构翻转； 检测组件，设置于所述机器人输送端、所述取放机构和或所述翻转机构，并用于检测被夹持的所述晶圆的缺口位置； 设置在所述机器人输送端上的转移机构，所述取放机构通过所述转移机构与所述机器人输送端连接，且所述转移机构能将所述取放机构转移至所述翻转机构上，以及能接收所述翻转机构上的所述取放机构。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安欣芯材料科技有限公司，其通讯地址为：710065 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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