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龙图腾网获悉拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司申请的专利晶圆翘曲度的检测装置、加工设备、方法及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119786369B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411887981.6，技术领域涉及：H10P74/20；该发明授权晶圆翘曲度的检测装置、加工设备、方法及存储介质是由郭东;石劼霖设计研发完成，并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆翘曲度的检测装置、加工设备、方法及存储介质在说明书摘要公布了：本发明提供了晶圆翘曲度的检测装置、加工设备、方法及存储介质。检测装置包括：单色光源用于提供检测光束。至少三个半反半透镜用于获取检测光束，并将其反射到对应的反光镜，再将检测光束传输到对应的光纤和下一个半反半透镜。至少三个反光镜分别用于检测光束，以形成参考光束，并将其传输到对应的探测器。至少三根光纤分别用于将检测光束传输到至少三个检测窗口，经由各检测窗口照射待测晶圆的对应被测点，以反射形成物体光束，并将其传输到对应的探测器。至少三个探测器分别用于采集参考光束及物体光束。处理器连接各探测器，用于根据干涉条纹图像中的条纹数量，确定待测晶圆的各对应被测点到晶圆托盘表面的距离，并据此确定晶圆的翘曲度。

本发明授权晶圆翘曲度的检测装置、加工设备、方法及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种晶圆翘曲度的检测装置，其特征在于，包括： 单色光源，用于提供窄波段的检测光束； 至少三个半反半透镜，沿所述检测光束的传播路径依次排列，用于经由其第一光学表面获取所述检测光束，并将其反射到对应的反光镜，再经由其第二光学表面将透射的检测光束传输到对应的光纤和下一个半反半透镜； 至少三个所述反光镜，分别用于反射所述半反半透镜提供的检测光束，以形成参考光束，并将所述参考光束传输到对应的探测器； 至少三根所述光纤，分别用于将所述半反半透镜提供的检测光束传输到晶圆托盘表面的至少三个检测窗口，经由各所述检测窗口照射待测晶圆的对应被测点，以反射形成物体光束，并将所述物体光束传输到对应的探测器； 至少三个所述探测器，分别用于采集所述参考光束及其对应的物体光束，以生成对应的干涉条纹图像；以及 处理器，连接各所述探测器，用于根据各所述探测器生成的干涉条纹图像中的条纹数量，确定所述待测晶圆的各对应被测点到所述晶圆托盘表面的距离，并据此确定所述晶圆的翘曲度。

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