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智慧星空(上海)工程技术有限公司;广东星空科技装备有限公司请求不公布姓名获国家专利权

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龙图腾网获悉智慧星空(上海)工程技术有限公司;广东星空科技装备有限公司申请的专利对准装置及对准方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119786419B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411992121.9,技术领域涉及:H10P72/50;该发明授权对准装置及对准方法是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

对准装置及对准方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种对准装置及其方法,属于晶圆封装技术领域,具体包括第一准直单元、第一折射单元、第二准直单元、第二折射单元、合束分光棱镜、成像收集单元。其中,两反射光到达成像收集单元的光程一致。通过本申请的处理方案,提高了标记成像的清晰度,成像收集单元的响应速度,减小了响应的误差,实现了两基准版之间的高精度对准。

本发明授权对准装置及对准方法在权利要求书中公布了:1.一种对准装置,用于将第一基准版与第二基准版直接进行相对定位,其特征在于,包括:第一准直单元、第一折射单元、第二准直单元、第二折射单元、合束分光棱镜、成像收集单元和光程补偿结构;第一折射单元包括:第一分光棱镜和第一成像透镜;第二折射单元包括:第二分光棱镜和第二成像透镜;成像收集单元包括:第三成像透镜和相机; 所述第一准直单元将第一光束进行准直,并通过所述第一折射单元后折射到所述第一基准版,从所述第一基准版反馈的第一反射光经过所述合束分光棱镜,照射到所述成像收集单元构成第一光路并使得所述第一基准版的标记被成像至所述相机上;所述第二准直单元将第二光束进行准直,并通过所述第二折射单元后折射到所述第二基准版,从所述第二基准版反馈的第二反射光经过所述合束分光棱镜,照射到所述成像收集单元构成第二光路并使得所述第二基准版的标记成像至所述相机上; 其中,所述第一反射光经过所述合束分光棱镜的倾斜面时先90度反射,到达所述分光棱镜表面后进行180度反射,再透过所述合束分光棱镜的倾斜面入射至所述成像收集单元;所述第二反射光先进入光程补偿结构,再经过所述合束分光棱镜的倾斜面直接反射进入所述成像收集单元; 所述第一反射光到成像收集单元的光程和第二反射光到成像收集单元的光程一致; 所述相机被配置为根据两路光束分别生成对应的图像,当两个图像重叠时,判定所述第一基准版、所述第二基准版对准。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人智慧星空(上海)工程技术有限公司;广东星空科技装备有限公司,其通讯地址为:201316 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区海基六路70弄1号512-57室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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