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龙图腾网获悉西安奕斯伟材料科技股份有限公司申请的专利硅片测试方法和硅片测试系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119846263B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411810615.0，技术领域涉及：G01Q60/30；该发明授权硅片测试方法和硅片测试系统是由杨凡;张婉婉;苏鸿飞设计研发完成，并于2024-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本硅片测试方法和硅片测试系统在说明书摘要公布了：本申请提供了一种硅片测试方法，所述方法包括：执行标样测试，以得到标样测试数据；所述标样测试在标样载台上执行；在所述标样测试数据指示不需要更换探针的情况下，执行样品测试，以得到样品测试数据；所述样品测试在样品载台上执行；其中，所述标样的尺寸小于所述样品的尺寸，所述标样载台的尺寸小于所述样品载台的尺寸。本申请通过标样测试数据来判断探针状态，并在探针状态符合要求时继续进行样品测试，通过对探针状态进行监控，提升样品测试的准确性。标样测试可以在较小范围内完成，节省了时间和空间，提高了测试效率。

本发明授权硅片测试方法和硅片测试系统在权利要求书中公布了：1.一种硅片测试方法，其特征在于，用于测试硅片的粗糙度，所述方法包括： 执行标样测试，以得到标样测试数据；所述标样测试在标样载台上执行； 在所述标样测试数据指示需要更换探针的情况下，重复更换探针以及执行标样测试的步骤，直到最新得到的标样测试数据指示不需要更换探针； 在所述标样测试数据指示不需要更换探针的情况下，执行样品测试，以得到样品测试数据；所述样品测试在样品载台上执行；在未完成样品测试的情况下，判断是否需要再次进行标样测试；在需要再次进行标样测试的情况下，再次执行标样测试； 其中，所述标样的尺寸小于所述样品的尺寸，所述标样载台的尺寸小于所述样品载台的尺寸，并且所述标样载台与所述样品载台的高度相匹配；所述标样测试为标样粗糙度测试，所述样品测试为样品粗糙度测试，并且所述标样测试和所述样品测试对应的扫描参数相一致； 利用所述标样测试数据判断是否需要更换探针的过程包括：在所述标样测试数据处于目标数值范围内的情况下，认定所述标样测试数据指示不需要更换探针；或者，在所述标样测试数据未处于目标数值范围内的情况下，认定所述标样测试数据指示需要更换探针。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人西安奕斯伟材料科技股份有限公司，其通讯地址为：710065 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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