甬江实验室邓必为获国家专利权
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龙图腾网获悉甬江实验室申请的专利亚微米级异物无损检测装置及亚微米级异物无损检测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119915768B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411889103.8,技术领域涉及:G01N21/3563;该发明授权亚微米级异物无损检测装置及亚微米级异物无损检测方法是由邓必为;刘婷婷;于潇涵;滑建冠设计研发完成,并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本亚微米级异物无损检测装置及亚微米级异物无损检测方法在说明书摘要公布了:本公开涉及激光光学检测技术领域,提供了一种亚微米级异物无损检测装置及亚微米级异物无损检测方法,该装置包括移动载台、中红外激光器、激光测振仪和信号处理模块;中红外激光器用于向待测样品件发射不同波长的中红外激光;信号处理模块与激光测振仪电连接,用于接收处理激光测振仪的测量信号;探测激光照射于待测样品件后能够被反射、折射或散射回激光测振仪;光电探测器用于检测合束激光干涉频差,并转换为待测样品件振动的电信号。该方法能够实现对待测样品表面异物亚微米级的快速检测,且整个检测过程中对待测样品不具有任何破坏性,能够适用于待测样品流水线在线检测作业。
本发明授权亚微米级异物无损检测装置及亚微米级异物无损检测方法在权利要求书中公布了:1.一种亚微米级异物无损检测装置,其特征在于,包括: 移动载台1,能够沿多个不同方向移动待测样品件; 中红外激光器2,用于向待测样品件发射不同波长的中红外激光; 激光测振仪3,包括依次设置于自身光路中的分束器32、合束器33和光电探测器34; 信号处理模块4,与所述激光测振仪3电连接,用于接收处理所述激光测振仪3的测量信号; 其中,所述分束器32能够将所述激光测振仪3发出的激光分束为探测激光和参照激光,且所述探测激光照射于待测样品件后能够被反射、折射或散射回所述激光测振仪3; 所述合束器33用于将所述参照激光与反射、折射或散射回的所述探测激光合束; 所述光电探测器34用于检测合束激光干涉频差,并转换为待测样品件振动的电信号; 所述中红外激光器2能够对待测样品件发射重复频率的中红外激光,并在中红外激光的波谱范围内选取等间距的多个波长逐个输出,并在每个波长下,所述激光测振仪3逐个运行检测任务,所述信号处理模块4能够根据中红外激光的多个波长绘制出振动强度分布图像; 根据所述振动强度分布图像中的波峰选定自身发射的所述中红外激光的波长,并对待测样品件的其他位置进行随机选区检测或整面检测。
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