买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司申请的专利晶圆干燥装置及晶圆干燥方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120176413B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510613231.8，技术领域涉及：F26B11/18；该发明授权晶圆干燥装置及晶圆干燥方法是由陈海婷;万坤;刁睿设计研发完成，并于2025-05-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆干燥装置及晶圆干燥方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆干燥装置及晶圆干燥方法，具体涉及晶圆干燥技术领域，包括主体和甩干架，驱动部包括与所述甩干架相配合的翻转框，夹紧部包括开设在甩干架上的多个放置槽，每个所述放置槽内设有多个受压张合件，所述受压张合件对放置槽内的晶圆进行夹紧固定，调节部包括与所述受压张合件对应的调节杆，调节杆间歇运动时，对受压张合件往复挤压，使分布在晶圆周侧的受压张合件间歇张开，导流部包括对称设置在所述受压张合件外侧的导流板，当受压张合件张开时，两个导流板相抵推，二者的夹角增大，构成的导向通道扩大；本申请能够对晶圆固定的同时，避免了固定位置对干燥产生阻碍，提升了晶圆的干燥效率及质量。

本发明授权晶圆干燥装置及晶圆干燥方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆干燥装置，包括主体和甩干架，其特征在于，还包括： 驱动部，其包括与所述甩干架相配合的翻转框； 夹紧部，其包括开设在甩干架上的多个放置槽，每个所述放置槽内设有多个受压张合件，所述受压张合件对放置槽内的晶圆进行夹紧固定，所述甩干架上开设有多个与受压张合件对应且与放置槽连通的滑槽，每个所述滑槽内均滑动连接有推动板，每个所述受压张合件包括两个移动板，推动板能够带动对应的两个移动板相对或相背移动，所述推动板底部固定连接有挤压块，所述滑槽内朝向甩干架中心的一端设有挡板，所述挡板通过第一弹簧与挤压块侧壁连接，每组所述两个移动板相背端分别经第二弹簧与放置槽侧壁连接； 调节部，其包括与所述受压张合件对应的调节杆，调节杆间歇运动时，对受压张合件往复挤压，使分布在晶圆周侧的受压张合件间歇张开，每个所述调节杆两端分别固定连接有导向框，所述翻转框两个侧壁上分别转动连接有两个摆杆，同一侧的两个所述摆杆之间通过第三弹簧连接，每个所述摆杆自由端分别设有插入对应导向框内的插柱，所述主体内设有转盘，所述转盘上滑动连接有多组与翻转框对应的连接杆，靠近所述转盘圆心一侧的两个调节杆上分别固定连接有连接框，当翻转框翻转至主体内部时，连接杆能够与对应的连接框完成配合，所述主体内设有位于转盘下方的固定环，所述固定环侧壁上开设有两个导向槽，所述连接杆下端贯穿转盘且设有插入对应导向槽内的导向柱，所述导向槽沿水平方向上下起伏，两个所述导向槽呈错位设置； 导流部，其包括对称设置在所述受压张合件外侧的导流板，当受压张合件张开时，两个导流板相抵推，二者的夹角增大，构成的导向通道扩大。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司，其通讯地址为：323000 浙江省丽水市莲都区南明山街道绿谷大道309号国际车城15号楼11层-241；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。