惠州达诚微电子材料有限公司卢铭获国家专利权
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龙图腾网获悉惠州达诚微电子材料有限公司申请的专利一种适用多种结构的水性剥离液及其制备方法和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120578023B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510651874.1，技术领域涉及：G03F7/42；该发明授权一种适用多种结构的水性剥离液及其制备方法和应用是由卢铭;卢燕燕;张丽燕;陈美玲设计研发完成，并于2025-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种适用多种结构的水性剥离液及其制备方法和应用在说明书摘要公布了：本发明属于半导体器件的加工工艺，涉及属于其所用材料，具体涉及一种适用多种结构的水性剥离液及其制备方法和应用。本发明的剥离液，其包括以下重量份的组分：有机胺化合物9～10份、有机溶剂60～70份、缓蚀剂0.5～1份、改性EDTA复合物0.5～1份；所述有机胺化合物为羟乙基乙二胺、甲基二乙醇胺、三乙醇胺、二甘醇胺。本发明的剥离液可适用多种结构，由于使用了EDTA复合物、缓蚀剂组合相较腐蚀率降低20％以上，剥离速度提升。
本发明授权一种适用多种结构的水性剥离液及其制备方法和应用在权利要求书中公布了：1.一种适用多种结构的水性剥离液，其特征在于，其包括以下重量份的组分： 有机胺化合物9~10份、有机溶剂60~70份、缓蚀剂0.5~1份、改性EDTA复合物0.5~1份；所述有机胺化合物为羟乙基乙二胺、甲基二乙醇胺、三乙醇胺或二甘醇胺； 改性EDTA复合物为EDTA-Zn预螯合物，EDTA-Zn预螯合物的制备方法包括以下步骤： S11、将EDTA与硫酸锌按3~1:1摩尔比混合，在pH4~5、55~60℃下反应2~3小时； S12、冷却后过滤，得到白色晶体状EDTA-Zn预螯合物。
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