三星显示有限公司薛在完获国家专利权
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龙图腾网获悉三星显示有限公司申请的专利显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113463028B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110337807.4,技术领域涉及:C23C14/24;该发明授权显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法是由薛在完;姜贤圭;徐东均;韩尚辰;韩种馩设计研发完成,并于2021-03-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法。本发明包括:传感器部,包括测量从沉积源喷射的沉积物质的沉积厚度的多个传感器;第一加热器部,布置于第一区域而加热所述多个传感器中的布置于所述第一区域的第一传感器;以及第二加热器部,布置于与所述第一区域不同的第二区域而加热所述多个传感器中的布置于所述第二区域的第二传感器。
本发明授权显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法在权利要求书中公布了:1.一种显示装置的制造装置,包括: 腔体; 沉积源,布置于所述腔体内部并喷射沉积物质; 传感器部,包括测量从所述沉积源喷射的所述沉积物质的沉积厚度并与所述腔体的底表面倾斜地布置的多个传感器; 第一加热器部,布置于第一区域而加热所述多个传感器中的布置于所述第一区域的第一传感器;以及 第二加热器部,布置于与所述第一区域不同的第二区域而加热所述多个传感器中的布置于所述第二区域的第二传感器,以使所述第二传感器的温度维持在预定温度以上,形成为板形态并与所述腔体的底面平行地布置。
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