信越化学工业株式会社饭尾匡史获国家专利权
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龙图腾网获悉信越化学工业株式会社申请的专利负型感光性树脂组成物、图案形成方法、硬化被膜形成方法、层间绝缘膜、表面保护膜获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114063387B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110884911.5,技术领域涉及:G03F7/038;该发明授权负型感光性树脂组成物、图案形成方法、硬化被膜形成方法、层间绝缘膜、表面保护膜是由饭尾匡史;浦野宏之;渡边修;竹村胜也设计研发完成,并于2021-08-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本负型感光性树脂组成物、图案形成方法、硬化被膜形成方法、层间绝缘膜、表面保护膜在说明书摘要公布了:本发明涉及负型感光性树脂组成物、图案形成方法、硬化被膜形成方法、层间绝缘膜、表面保护膜。本发明的课题是提供能形成矩形性高的微细图案并可获得高分辨率,且即使于低温硬化时机械特性亦良好,而且高温高湿试验前后的密接力不会劣化的负型感光性树脂组成物。一种负型感光性树脂组成物,含有:A碱可溶性树脂,含有选自聚酰亚胺结构、聚苯并噁唑结构、聚酰胺酰亚胺结构、它们的前驱体结构中的至少1种以上的结构;B交联性高分子化合物,含有下列通式1表示的结构单元,且具有会与A成分交联的基团;C因光而产生酸的化合物;及D热交联剂。
本发明授权负型感光性树脂组成物、图案形成方法、硬化被膜形成方法、层间绝缘膜、表面保护膜在权利要求书中公布了:1.一种负型感光性树脂组成物,含有: A碱可溶性树脂,含有选自聚酰亚胺结构、聚酰胺结构、聚苯并噁唑结构、聚酰胺酰亚胺结构、它们的前驱体结构中的至少1种以上的结构,该A成分含有下列通式6、通式7或通式18表示的结构; B交联性高分子化合物,该B成分为含有下列通式2表示的结构单元,并含有下列通式4与下列通式4′表示的结构单元中的任一者或该两者的交联性高分子化合物; C因光而产生酸的化合物;及 D该B成分以外的交联剂;该D成分包含选自经利用甲醛或甲醛-醇进行改性的胺基缩合物、1分子中平均具有2个以上的羟甲基或烷氧基羟甲基的苯酚化合物中的1种或2种以上的交联剂; 式中,R8表示氢原子或甲基,X4各自独立地为-C=O-O-、或亚苯基或亚萘基;R9为亦可含有羟基、酯基、醚基、芳香族烃的碳数1~15的直链状、分支状或环状的亚烷基,R10为氢原子、碳数1~6的直链状、分支状或环状的烷基,或亦可与R9键结而形成环;R11为氢原子、或碳数1~6的直链状、分支状或环状的烷基,R12为氢原子、或碳数1~6的直链状的烷基,亦可与R9键结而形成环;m为1;p为0或1;R13’表示氢原子或甲基,R14’表示单键或亚烷基,R15’为封端异氰酸酯基;0b21.0、0≤b41.0、0≤b4’1.0、0b4+b4’1.0、0b2+b4+b4’≤1.0或0b2+b4≤1.0及0b2+b4’≤1.0;R4表示氢原子或甲基,X2各自独立地为-C=O-O-、-C=O-NH-、或-C=O-NR5OH-;R5为2价的碳数1~12的直链状、分支状或环状的脂肪族饱和烃基、碳数6~12的芳香族烃基,该脂肪族饱和烃基的碳原子亦可置换为氧原子; 式6中,X6为4价有机基团,s表示0或1,Z为2价键结基团,s=0时,式中的2个芳香环不经由键结基团而直接键结; 式7中,X7为2价有机基团,s及Z与前述同样; 式18中,X11是与前述X6相同或不同的4价有机基团,s、Z与前述相同;R23及R24各自独立地为氢原子、碳数1~6的直链状、分支状、或环状的烷基、或下列通式20表示的有机基团,R23及R24中的至少1者为下列通式20表示的有机基团; 式20中,点线表示键结,R25为氢原子或碳数1~3的有机基团,R26及R27各自独立地为氢原子或碳数1~3的有机基团,o为2~10的整数。
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