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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利检查装置的自我诊断方法和检查装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114258482B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080059026.7，技术领域涉及：G01N21/17；该发明授权检查装置的自我诊断方法和检查装置是由大塚庆崇;鹤田茂登;三村勇之;前田浩史;真锅英二;日诘久则;篠塚真一;田上裕宪设计研发完成，并于2020-08-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本检查装置的自我诊断方法和检查装置在说明书摘要公布了：本公开的检查装置80的自我诊断方法包括进行配置的工序、进行照射的工序、接受光的工序以及判定光量的异常的工序。进行配置的工序通过使保持重合基板T的外周部并设置有具有使光衰减的衰减构件720的诊断部700的保持部400移动，来将衰减构件配置于向重合基板照射光的照明部610、620与拍摄重合基板的摄像部51、520之间。进行照射的工序在进行配置的工序之后，从照明部以设定光量照射光。接受光的工序在进行照射的工序之后，使用摄像部接受从照明部照射出并透过了衰减构件的光。判定光量的异常的工序在接受光的工序之后，基于由摄像部接受到的光的受光量来判定从照明部照射出的光的光量的异常。

本发明授权检查装置的自我诊断方法和检查装置在权利要求书中公布了：1.一种检查装置的自我诊断方法，该检查装置用于对将第一基板与第二基板接合而成的重合基板进行检查，所述检查装置的自我诊断方法包括以下工序： 进行配置的工序，通过使保持所述重合基板的外周部且设置有具有使光衰减的衰减构件的诊断部的保持部移动，来将所述衰减构件配置于照明部与摄像部之间，所述照明部配置于所述保持部的上方和下方中的一方，用于向保持于所述保持部的所述重合基板照射光，所述摄像部配置于所述保持部的上方和下方中的另一方的与所述照明部相向的位置，用于拍摄保持于所述保持部的所述重合基板， 进行照射的工序，在所述进行配置的工序之后，从所述照明部以设定光量照射光； 接受光的工序，在所述进行照射的工序之后，使用所述摄像部接受从所述照明部照射出并透过了所述衰减构件的光；以及 判定光量的异常的工序，在所述接受光的工序之后，基于由所述摄像部接受到的光的受光量来判定从所述照明部照射出的光的光量的异常， 所述衰减构件具有校准标记， 所述检查装置的自我诊断方法还包括以下工序： 进行摄像的工序，在所述进行照射的工序之后，使用所述摄像部拍摄所述校准标记；以及 判定光轴的倾斜的工序，在所述进行摄像的工序之后，基于由所述摄像部拍摄到的所述校准标记来判定所述照明部的光轴的倾斜。

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