美光科技公司B·P·沃兹获国家专利权
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龙图腾网获悉美光科技公司申请的专利用于增强型微电子装置搬运的设备及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114284199B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111149784.0,技术领域涉及:H10P72/78;该发明授权用于增强型微电子装置搬运的设备及方法是由B·P·沃兹;A·M·贝利斯设计研发完成,并于2021-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于增强型微电子装置搬运的设备及方法在说明书摘要公布了:本申请案涉及用于增强型微电子装置搬运的设备及方法。所述设备包含:接合头;接合尖端,其耦合到所述接合头且具有经配置以在其上接收微电子装置的接合尖端表面;第一3D传感器,其由所述接合头承载;拾取臂驱动;拾取臂,其耦合到所述拾取臂驱动且具有经配置以在其上接收所述微电子装置的拾取表面;及第二3D传感器,其由所述拾取臂驱动承载。所述设备进一步包含控制器,其经配置以:从所述第一3D传感器接收第一图像数据,所述第一图像数据包括所述拾取臂的所述拾取表面的图像数据;及从所述第二3D传感器接收第二图像数据,所述第二图像数据包括所述接合尖端的所述接合尖端表面的图像数据。
本发明授权用于增强型微电子装置搬运的设备及方法在权利要求书中公布了:1.一种用于搬运微电子装置的设备,其包括: 接合头; 接合尖端,其耦合到所述接合头且具有经配置以在其上接收微电子装置的接合尖端表面; 第一3D传感器,其由所述接合头承载; 拾取臂驱动; 拾取臂,其耦合到所述拾取臂驱动且具有经配置以在其上接收所述微电子装置的拾取表面;及 第二3D传感器,其由所述拾取臂驱动承载; 其中所述第一3D传感器经配置以捕获包括所述拾取臂的所述拾取表面的图像数据的第一图像数据,且所述第二3D传感器经配置以捕获包括所述接合尖端的所述接合尖端表面的图像数据的第二图像数据,以识别所述拾取表面上及所述接合尖端表面上的缺陷、颗粒或污染中的一或多者、或识别拾取臂相对于所述接合尖端的非共面性。
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