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龙图腾网获悉苏州六九新材料科技有限公司申请的专利一种新型镶嵌复合靶材及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118756102B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410754304.0，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权一种新型镶嵌复合靶材及其制备方法是由张凤戈;孟晓亭;魏铁峰;张欠男;岳万祥;施政;郭桦帅设计研发完成，并于2024-06-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种新型镶嵌复合靶材及其制备方法在说明书摘要公布了：本申请涉及物理气相沉积的技术领域，具体公开了一种新型镶嵌复合靶材及其制备方法。本申请公开的镶嵌复合靶材的制备方法为：基体材料形状为圆柱形，将上下端面找平，在中心处开圆形通孔，通孔上端面设有倒角，通孔内壁与上下端面垂直；基体通孔内壁加工出螺纹，螺纹高度0.1~0.3mm，螺距0.2~0.5mm；镶嵌材料为圆柱形，圆柱外径比基体材料的圆形通孔内径大0.12~0.19%，圆柱高度与基体材料厚度相同；将镶嵌材料放入液氮中冷冻20~30min，取出后嵌入基体材料圆孔，放置5~10min，得到镶嵌复合靶材毛坯；后处理即得。本申请的制备方法简单，镶嵌复合靶材镶嵌材料和基体材料之间结合紧密，结合强度高。

本发明授权一种新型镶嵌复合靶材及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种新型镶嵌复合靶材的制备方法，其特征在于，由基体材料和镶嵌材料组成，具体包括依次进行以下步骤： 所述基体材料形状为圆柱形，将上下端面找平，在中心处开圆形通孔，通孔上端面设有倒角，倒角尺寸为0.5mm×45°～1.0mm×45°，通孔内壁与上下端面垂直； 所述基体材料通孔内壁加工出螺纹，螺纹高度0.1～0.3mm，螺距0.2～0.5mm；所述基体材料为TiSi、Ti中的任意一种；所述基体材料的尺寸规格为：直径为60～200mm，厚度为10～100mm，通孔壁厚＞15mm； 所述镶嵌材料为圆柱形，所述镶嵌材料的圆柱外径比所述基体材料的圆形通孔内径大0.14～0.19％，所述镶嵌材料的圆柱高度与所述基体材料的厚度相同； 将所述镶嵌材料放入液氮中冷冻20～30min，取出后嵌入基体材料圆孔，放置5～10min，得到镶嵌复合靶材毛坯；所述镶嵌材料为TiAl3070at％或Al；所述镶嵌材料的直径30～170mm； 经过后处理得到所述新型镶嵌复合靶材。

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