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龙图腾网获悉深圳市力源海纳能源有限公司申请的专利一种等离子体产生的控制电路、控制方法及产生方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119675405B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411607621.6，技术领域涉及：H02M1/00；该发明授权一种等离子体产生的控制电路、控制方法及产生方法是由郭平;曹冬粒设计研发完成，并于2024-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种等离子体产生的控制电路、控制方法及产生方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种等离子体产生的控制电路、控制方法及产生方法，基于气体放电规律，利用溅射镀膜电源已有的电压和电流探测器，无需另外增加元器件，即可产生溅射镀膜工艺所需的等离子体。在输出电流和功率分别超过设定的电流阈值和功率阈值时判定等离子体的产生，判定结果准确率高。避免启辉阶段靶材局部微小区域弧光放电时的误判，保证启辉、靶材清洗工艺和溅射镀膜工艺的正常进行。在连续多次启辉失败次数超过失败阈值时能够关闭启辉电路，并报错通知用户更改有关工艺参数，优化相关工艺。正常溅射镀膜过程出现突发情况造成等离子体熄灭，自动重新启动启辉电路，使等离子体再次迅速产生，快速恢复到等离子体熄灭前的溅射镀膜工况，保证镀膜质量。

本发明授权一种等离子体产生的控制电路、控制方法及产生方法在权利要求书中公布了：1.一种等离子体产生的控制电路，包括输入整流滤波电路、启辉电路、输出滤波电路、DSP电路和输入电路； 输入整流滤波电路，用于连接输入交流电并将输入交流电整流为直流电后将直流电进行滤波； 启辉电路，与输入整流滤波电路连接，并将滤波后的电压升高到设定值； 输出滤波电路，与启辉电路连接，并将升高到设定值的电压进行滤波以输出到腔室负载，其特征在于： DSP电路，与输出滤波电路和启辉电路连接，并获取输出滤波电路输出的实时电流值和实时电压值，并将获取的实时电流值和实时电压值计算得到实时功率值； 输入电路，与DSP电路电连接，用于输入设定的电流阈值、功率阈值和启辉失败次数阈值； 所述DSP电路将实时电流值与设定的电流阈值比较，和将实时功率值与设定功率阈值进行比较，仅当实时电流值大于设定的电流阈值且实时功率值大于设定的功率阈值时，判定等离子产生成功，并控制启辉电路关闭，同时将启辉失败次数重置； 否则，判定等离子体产生失败，控制启辉电路持续打开，并将启辉失败次数累计加1； 当累计的启辉失败次数超过设定的启辉失败次数阈值时，控制启辉电路关闭并触发系统报警。

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