广东汇成真空科技股份有限公司李志荣获国家专利权
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龙图腾网获悉广东汇成真空科技股份有限公司申请的专利一种制备钙钛矿太阳光吸收层的设备及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119980187B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510063977.6,技术领域涉及:C23C16/44;该发明授权一种制备钙钛矿太阳光吸收层的设备及方法是由李志荣;覃志伟;张琴;贺世杰设计研发完成,并于2025-01-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种制备钙钛矿太阳光吸收层的设备及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种制备钙钛矿太阳光吸收层的设备及方法,其设备包括第一、第二工艺气体吹扫模块以及隔离气体吹扫模块和抽气模块,第一、第二工艺气体分别为单一成分的有机源、无机源加热升华后通过载气带出的混合气体;镀膜时,工艺气体吹扫模块的气口吹出带状气流,输送组件承托着镀膜基片让其从带状气流范围内穿过,使由第一、第二工艺气体吹扫模块吹出的带状气流按顺由镀膜基片表面扫过,沉积生成钙钛矿太阳光吸收层,隔离气体吹扫模块和抽气模块以及具有封闭性的输送组件的配合,使得第一、第二工艺气体镀膜区环境独立而稳定,从而使得可在常压下沉积大尺寸高质量和高均匀性的吸光层。
本发明授权一种制备钙钛矿太阳光吸收层的设备及方法在权利要求书中公布了:1.一种制备钙钛矿太阳光吸收层的设备,其特征在于,包括沉积室,输送组件,加热模块和气体吹扫模块,所述气体吹扫模块的气口与所述输送组件在所述沉积室内对向分布,它们之间形成供镀膜基片移动的沉积通道,所述加热模块用于加热所述镀膜基片,所述气体吹扫模块包括至少一个第一工艺气体吹扫模块和至少一个第二工艺气体吹扫模块以及隔离气体吹扫模块和抽气模块,其中,隔离气体吹扫模块的气口设置在各工艺气体吹扫模块的气口之间和外侧,而抽气模块的气口间隔设置在两两气口之间; 所述第一工艺气体为单一成分的有机源加热升华后通过载气带出的混合气体; 所述第二工艺气体为单一成分的无机源加热升华后通过载气带出的混合气体; 所述输送组件具有封闭性,在所述镀膜基片位于气口区域时不会让气流直接透过; 镀膜时,所述隔离气体吹扫模块和所述工艺气体吹扫模块的气口均吹出带状气流,所述输送组件承托着所述镀膜基片让其从所述带状气流范围内穿过,使由所述第一、第二工艺气体吹扫模块吹出的带状气流按顺由所述镀膜基片表面扫过,沉积生成所述钙钛矿太阳光吸收层,多余的气体由所述抽气模块的气口抽出,且该抽气口长度大于或等于所述隔离气体吹扫模块和所述工艺气体吹扫模块的气口的长度。
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