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龙图腾网获悉苏州佑伦真空设备科技有限公司申请的专利一种双极八字磁控溅射机台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120174321B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510568718.9，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种双极八字磁控溅射机台是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种双极八字磁控溅射机台在说明书摘要公布了：本发明提出一种双极八字磁控溅射机台，包括支撑机架、对称设置的第一主腔模块和第二主腔模块、中转缓存腔室模块、多个加工腔室模块及进出料腔室模块，通过可移动运输机架实现快速更换，可根据工艺要求进行工艺腔室自由组合，满足多样化工艺需求；倾斜闸阀设计减少占地面积并增强结构受力均匀性，延长设备寿命；中转缓存腔室提供冷却与暂存功能，隔离前后级工艺热影响，确保物料处理环境稳定性；通过分路管道和智能分配单元实时调节介质流量及混合比例，精准匹配各腔室工艺参数，降低能耗。

本发明授权一种双极八字磁控溅射机台在权利要求书中公布了：1.一种双极八字磁控溅射机台，包括支撑机架1、对称设置的第一主腔模块2和第二主腔模块3、中转缓存腔室模块4、多个加工腔室模块5及进出料腔室模块6，其特征在于： 所述第一主腔模块2和第二主腔模块3通过框架结构7连接，形成中央区域设置的中转缓存腔室模块4； 所述第一主腔模块2和第二主腔模块3的外周呈辐射状分布有多个可拆卸的加工腔室模块5，各加工腔室模块5与主腔模块可拆卸连接； 每个第一主腔模块2、第二主腔模块3内设有独立控制的夹送运输装置10，所述夹送运输装置10为可在三维空间移动的传送机构，用于跨腔室转运物料； 所述支撑机架1集成有汽液供给模块9，通过分路管道向各加工腔室模块5动态分配工艺介质； 所述中转缓存腔室模块4包含至少两个独立控温的缓冲单元，实现物料暂存与工艺环境隔离，加工腔室模块5包括加工腔室本体51、可移动运输机架52，所述可移动运输机架52上方固定设有加工腔室本体51，加工腔室本体51通过固定件与第一主腔模块2、第二主腔模块3之间可拆卸连接，当松开固定件后，通过移动可移动运输机架52带动加工腔室本体51进行移动，根据加工需求进行加工腔室模块5的更换，第一主腔模块2、第二主腔模块3内间隔倾斜设有多个封闭闸阀模块8，每一封闭闸阀模块8一端与第一主腔模块2、第二主腔模块3的框架结构7固定连接，每一封闭闸阀模块8另一端与每一加工腔室模块5输入端连接，封闭闸阀模块8用于在夹送运输装置10运行时开合封闭闸阀模块8，使得腔室之间的环境互不污染，第一主腔模块2、第二主腔模块3与每一加工腔室模块5输入端之间的框架结构7上设有送料腔室71，每一送料腔室71内设有密封块，每一密封块中间设有送料通道，夹送运输模块使用夹送运输装置10抓取料体并经由送料通道至指定加工腔室模块5，密封块靠近封闭闸阀模块8的面为斜面，便于封闭闸阀模块8与密封块抵接，所述封闭闸阀模块8包括安装座81、驱动气缸82、密封闸板83，第二主腔模块3下方设有安装座81，安装座81上设有驱动气缸82，驱动气缸82的驱动轴上设有密封闸板83，密封闸板83与密封块侧边抵接。

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