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龙图腾网获悉山东鲁能控制工程有限公司申请的专利一种国产芯片过程控制站在线监控系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120630781B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510520807.6，技术领域涉及：G05B19/042；该发明授权一种国产芯片过程控制站在线监控系统及方法是由陈明;张新运;别锦锦;王易鑫设计研发完成，并于2025-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种国产芯片过程控制站在线监控系统及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及芯片制造监控领域，尤其涉及一种国产芯片过程控制站在线监控系统及方法，包括通过传感器和数据采集卡实时采集芯片制造过程中的参数，根据预处理后的芯片生产过程相关数据信息，建立芯片不良识别神经网络模型，输出分析预测结果；根据芯片制造工艺以及原料、芯片生产设备、基础材料因素计算刻蚀速率校正参数，根据刻蚀速率校正参数与预设刻蚀速率校正参数对照系数的比对结果，对刻蚀速率进行调整，并根据实际刻蚀速率动态变化量与标准刻蚀速率动态变化量的对照结果对刻蚀速率进行精化；根据精化后得到的刻蚀速率，通过自动化检测和反馈机制对刻蚀残留物进行监测。

本发明授权一种国产芯片过程控制站在线监控系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种国产芯片过程控制站在线监控方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤S1.通过传感器和数据采集卡实时采集芯片制造过程中的参数，根据预处理后的芯片生产过程相关数据信息，建立芯片不良识别神经网络模型，输出分析预测结果； 增加时间衰减系数，对得到最终芯片缺陷估计评估参量，过程如下所示： 其中，表示历史数据权重系数；表示历史数据窗口大小；表示第个历史缺陷值；定义缺陷评估参量阈值、，与将最终芯片缺陷估计评估参量分别与、进行对比，如果，则为优等品，则定义刻蚀速率为，；如果，则为中等品，则定义刻蚀速率为，；如果，则为差等品，则定义刻蚀速率为，；其中，表示正常生产刻蚀速率；、、分别表示第一、第二、第三刻蚀速率调节系数； 如果，则触发紧急预警系统，立即停机进行维护检测同时启动根因分析流程；其中，表示预警因子； 步骤S2.根据芯片制造工艺以及原料、芯片生产设备、基础材料因素计算刻蚀速率校正参数，根据刻蚀速率校正参数与预设刻蚀速率校正参数对照系数的比对结果，对刻蚀速率进行调整，并根据实际刻蚀速率动态变化量与标准刻蚀速率动态变化量的对照结果对刻蚀速率进行精化；步骤S3.根据精化后得到的刻蚀速率，通过自动化检测和反馈机制对刻蚀残留物进行监测。

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