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龙图腾网获悉深圳市川世达科技有限公司申请的专利一种半导体清洗设备中的喷淋装置和半导体清洗设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120961496B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511337129.6，技术领域涉及：B08B3/02；该发明授权一种半导体清洗设备中的喷淋装置和半导体清洗设备是由李毅承设计研发完成，并于2025-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体清洗设备中的喷淋装置和半导体清洗设备在说明书摘要公布了：本发明涉及喷淋装置技术领域，尤其涉及一种半导体清洗设备中的喷淋装置和半导体清洗设备。其技术方案包括机体，所述机体内转动安装有输送管，还包括固定安装于输送管上并与输送管连通的多个喷淋头，所述喷淋头上转动安装有多根喷管，支路调压部件，所述支路调压部件与所述输送管连通并周期性调节输送管内部水压。本发明该喷淋装置有效解决了半导体清洗中因石英舟立体结构导致的远近区域清洗效果不均难题，显著提升了药液对远端的冲击力和清洗效果，同时避免了为补偿远端持续高压所带来的近端过喷、设备损伤、液滴飞溅及化学品浪费问题，实现了精准、高效、均匀的清洗过程。

本发明授权一种半导体清洗设备中的喷淋装置和半导体清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体清洗设备中的喷淋装置，包括机体，所述机体内转动安装有输送管1，其特征在于，还包括： 固定安装于输送管上并与输送管1连通的多个喷淋头2，所述喷淋头2上转动安装有多个喷管23，所述机体内安装有驱动喷管23摆动的角度调节机构3； 支路调压部件4，所述支路调压部件4与所述输送管1连通并周期性调节输送管1内部水压，所述支路调压部件4包括与输送管1连通的容纳箱41、滑动并密封连接于容纳箱41内部的活塞42； 安装于机体内并对角度调节机构3和支路调压部件4提供动力的动力部件5，所述动力部件5驱动喷管23往复摆动一个周期时驱动活塞42往复运动两个周期； 所述动力部件5包括固定安装于机体上的第一电机51、固定安装于第一电机51输出轴上并与机体转动连接的传动轴52； 所述机体上转动安装有第一曲柄53，所述第一曲柄53上转动安装有第一连杆531，所述第一连杆531上转动安装有第一推杆532，所述第一推杆532与所述活塞42固定连接并与容纳箱41滑动连接； 所述机体上转动安装有第二曲柄54，所述第二曲柄54上转动安装有第二连杆541，所述第二连杆541上转动安装有与机体滑动连接的第二推杆542，所述第二推杆542上固定安装有连接板543，位于最上方的升降块32上固定安装有圆杆35，所述连接板543与所述圆杆35固定连接； 所述动力部件5还包括位于传动轴52和第一曲柄53之间的第一传动组件55、位于传动轴52和第二曲柄54之间的第二传动组件56，所述第二传动组件56的传动比为第一传动组件55的两倍； 所述第一传动组件55包括固定安装于传动轴52上的第一齿轮551、固定安装于第一曲柄53上的第二齿轮552、转动安装于机体上并与第一齿轮551和第二齿轮552啮合的惰轮553，所述第二齿轮552的分度圆直径为第一齿轮551的两倍； 所述第二传动组件56包括固定安装传动轴52上的第三齿轮561、固定安装于第二曲柄54上并与第三齿轮561啮合的第四齿轮562，所述第三齿轮561和第四齿轮562为同种规格的齿轮。

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