苏州鸿安机械股份有限公司刘大庆获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州鸿安机械股份有限公司申请的专利一种半导体智能物流管理方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120975713B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511497897.8,技术领域涉及:G06Q10/087;该发明授权一种半导体智能物流管理方法及系统是由刘大庆;黄三荣;李自立;石益强;彭海波设计研发完成,并于2025-10-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体智能物流管理方法及系统在说明书摘要公布了:本发明属于半导体制造管理技术领域,本发明提供了一种半导体智能物流管理方法及系统,包括:在多个历史物流周期内,根据实时追踪晶圆生产线上的每个阶段晶圆生产所需要的时间,得到光刻胶预送时间,能够确保在对晶圆进行生产时光刻胶准时到达,避免过早到达导致存储成本增加或过晚到达影响生产进度,还能够根据实时生产情况和物流状态进行动态调整,有助于减少晶圆生产过程中因等待光刻胶而产生的空闲时间,避免错过光刻胶的有效使用周期,对多个历史物流周期内的光刻胶预送时间进行预送匹配度分析,评估预送时间是否匹配,筛选出低匹配生产线,不仅有助于合理安排库存水平,还能够避免因预送过早导致库存积压或预送过晚导致库存短缺的问题。
本发明授权一种半导体智能物流管理方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种半导体智能物流管理方法,其特征在于:包括: 在多个历史物流周期内,根据实时追踪晶圆生产线上的每个阶段晶圆生产所需要的时间,得到光刻胶预送时间; 对多个历史物流周期内的光刻胶预送时间进行预送匹配度分析,评估预送时间是否匹配,则筛选出低匹配生产线; 对每条低匹配生产线的历史预送流程进行预送冲突分析,判断是否需要对预送策略进行调整; 若需要预送调整,则获取预送时隔管理值,对预送冲突生产线进行预送时间管理; 光刻胶预送时间的获取方式为: 将整个晶圆生产车间按照晶圆生产工序进行划分,得到多个晶圆生产阶段,获取历史物流周期内晶圆生产阶段对应的时间,作为单元阶段时间,将同一晶圆生产阶段对应在历史物流周期内的单元阶段时间进行大小比较,选取最大单元阶段时间和最小单元阶段时间,并进行求和均值计算,输出得到同阶段时长; 按照同阶段时长对应的晶圆生产阶段,进行依次相加求和计算,得到阶段生产时长,获取每个历史物流周期内光刻胶物流时长,并进行求和均值计算,得光刻胶运输均时长,将阶段生产时长与光刻胶运输均时长进行作差,得到光刻胶预送时长; 生产线的历史预送流程进行预送冲突分析,得到重叠冲突值,过程如下: 提取一个低匹配生产线作为目标生产线,并获取目标生产线在历史物流周期内的光刻胶预送时段,并与其他低匹配生产线对应在历史物流周期内的光刻胶预送时段进行重合比较,若存在在同历史物流周期内两条低匹配生产线的光刻胶预送时段重叠,则将所分析的低匹配生产线作为时段预送重叠生产线; 针对时段预送重叠生产线,提取同历史物流周期内两条时段预送重叠生产线对应光刻胶预送时段重叠的局部时段,并与目标生产线在历史物流周期内的光刻胶预送时段进行比值处理,得到预送时段重叠时长比; 将所有的预送时段重叠时长比进行均值计算,输出得到重叠冲突值; 对每条低匹配生产线的历史预送流程进行预送冲突分析,得到重叠生产线数量比,过程如下: 在同历史物流周期内,统计时段预送重叠生产线的数量,并与低匹配生产线总数量进行比值计算,输出得到重叠生产线数量比; 判断是否需要对预送策略进行调整,过程如下: 将重叠生产线数量比与重叠冲突值进行比值计算,输出得到预送冲突分析值,若预送冲突分析值大于预送冲突分析阈值,则显示为预送调整信号; 获取预送时隔管理值,对预送冲突生产线进行预送时间管理,过程如下: 提取目标生产线对应的光刻胶运输均时长,与预送时段重叠时长比进行乘积后,并与光刻胶运输均时长进行求和,输出得到基础时隔调整值; 将预送冲突分析值与预送冲突分析阈值进行比值计算,输出得到冲突影响系数; 将基础时隔调整值与冲突影响系数进行乘积计算,输出得到预送时隔管理值; 将光刻胶预送时间与预送时隔管理值进行求和,得到光刻预送调整时间。
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