江苏汉印机电科技股份有限公司文成获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏汉印机电科技股份有限公司申请的专利一种基于碳化硅晶体生长热场装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121023629B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511000780.4,技术领域涉及:C30B23/00;该发明授权一种基于碳化硅晶体生长热场装置是由文成;周金鑫;石环城设计研发完成,并于2025-07-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于碳化硅晶体生长热场装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于碳化硅晶体生长热场装置,涉及晶体生长热场技术领域,包括真空室和生长机构;所述生长机构包括底座、坩埚主体、坩埚支架、坩埚盖、籽晶、籽晶板、刚性支撑件、固定环和柔性支撑结构;刚性支撑件、固定环、柔性支撑结构、导向杆、导向块、第一缓冲弹簧和加固块配合使用能够对坩埚支架进行柔性支撑,对坩埚主体进行刚性支撑,避免坩埚支架蠕变导致的坩埚倾斜,减少因温度不均产生的热应力,确保坩埚主体位置固定,避免因过饱和度过大产生的螺旋位错,采用柔性支撑与刚性支撑的组合设计,通过应力释放与位置固定的协同,在高温环境下实现抑制蠕变与保障精度的双重目标,提高碳化硅晶体的生长效果。
本发明授权一种基于碳化硅晶体生长热场装置在权利要求书中公布了:1.一种基于碳化硅晶体生长热场装置,包括:真空室1和设置在真空室1内部的生长机构; 所述生长机构包括设置在真空室1内部的底座3、活动设置在底座3上方并进行硅晶体生长的坩埚主体4和坩埚支架5; 所述生长机构还包括活动设置在坩埚主体4内部并用于硅晶体生长的籽晶7、与籽晶7连接的籽晶板18和控制籽晶板进行上下移动的升降组件; 所述生长机构还包括转动设置在底座3上并与坩埚主体4刚性连接的刚性支撑件8、设置在刚性支撑件8外侧并与坩埚支架5连接的固定环9和若干组呈圆形阵列设置在固定环9上并进行柔性连接的柔性支撑结构10; 所述柔性支撑结构10包括与固定环9垂直固定的支撑杆11、与支撑杆11转动连接的支撑臂12和设置在底座3上并与支撑臂12弹性连接的支撑座13; 所述支撑座13上设置有与支撑臂12连接的弹性组件; 所述弹性组件包括若干组对称设置在支撑座13内部的导向杆14、两组活动设置在导向杆14上的导向块15和若干组套设在导向杆14上并分别与导向块15和支撑座13连接的第一缓冲弹簧16。
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