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龙图腾网获悉西安唐晶量子科技有限公司申请的专利一种VCSEL外延片晶圆翘曲度检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121297720B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511871587.8，技术领域涉及：G01B11/25；该发明授权一种VCSEL外延片晶圆翘曲度检测方法是由卞海蛟;龚平;侯宏波;王元;范星;杨宇博设计研发完成，并于2025-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种VCSEL外延片晶圆翘曲度检测方法在说明书摘要公布了：本发明涉及工业检测技术领域，具体涉及一种VCSEL外延片晶圆翘曲度检测方法，包括：获取待检测VCSEL外延片晶圆表面的三维高度场；基于所述原始三维高度场，通过求解变分优化模型以提取宏观翘曲场；将原始高度场与宏观翘曲场相减获得高频残余场；计算高频残余场各像素在多方向的形态学梯度，并据此求取纹理指数；将纹理指数高于阈值的像素判为纹理像素，低于或等于阈值的判为噪声像素；对宏观翘曲场中对应噪声像素的位置执行局部均值滤波以获得修正翘曲场；基于修正翘曲场计算翘曲度，若其在设定误差范围内，则判定待检测VCSEL外延片晶圆合格。本发明解决了现有算法检测准确性不高的问题。

本发明授权一种VCSEL外延片晶圆翘曲度检测方法在权利要求书中公布了：1.一种VCSEL外延片晶圆翘曲度检测方法，其特征在于，包括：获取待检测VCSEL外延片晶圆表面的原始三维高度场； 基于所述原始三维高度场，通过求解变分优化模型以提取宏观翘曲场； 变分优化模型为：，为待检测VCSEL外延片晶圆图像的定义域，为待求解的宏观翘曲场，为原始三维高度场，为预设第一超参数，为最小值求解函数，是函数对空间坐标的二阶偏导数，是函数对空间坐标的二阶偏导数，是函数的混合二阶偏导数； 将所述原始三维高度场与宏观翘曲场相减以得到高频残余场；对所述高频残余场的各像素点计算多个预设方向上的形态学方向梯度；基于所述形态学方向梯度计算高频残余场的各像素点的纹理指数；所述纹理指数与同一像素点处所有形态学方向梯度的最大值和最小值的差值呈正相关，与所述最大值和最小值的和呈负相关； 将纹理指数大于设定阈值的像素点判定为纹理像素，将纹理指数小于等于设定阈值的像素点判定为噪声像素；对所述宏观翘曲场中与噪声像素对应的位置进行局部均值滤波处理，得到修正后的宏观翘曲场； 基于所述修正后的宏观翘曲场计算待检测VCSEL外延片晶圆的翘曲度，若所述翘曲度在设定误差范围内，则判定待检测VCSEL外延片晶圆合格。

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