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电子科技大学马海宾获国家专利权

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龙图腾网获悉电子科技大学申请的专利载流子浓度数据库建立方法、载流子浓度测试方法及测试系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121301322B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511865428.7,技术领域涉及:G06F16/21;该发明授权载流子浓度数据库建立方法、载流子浓度测试方法及测试系统是由马海宾;彭栋志;胡旻;唐福;张倬铖设计研发完成,并于2025-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。

载流子浓度数据库建立方法、载流子浓度测试方法及测试系统在说明书摘要公布了:本发明提供了一种载流子浓度数据库建立方法、载流子浓度测试方法及测试系统,载流子浓度数据库建立方法包括:建立有限偶极子模型和德鲁德模型的理论模型,调整所述理论模型的探针有效长度以及有效感应电荷与总感应电荷的比值,以计算载流子浓度已知的标准样品,得到若干第一光谱信息;采用太赫兹近场检测装置检测所述标准样品的第二光谱信息;拟合若干所述第一光谱信息和所述第二光谱信息,得到当前载流子浓度对应的最佳拟合模型;重复上述步骤,建立所述载流子浓度数据库。本发明不仅能更好地表示近场散射信号以及探针与样品的相互作用,而且可以有效克服仅用公式计算所存在的误差问题,有利于进一步提高半导体载流子浓度的计算准确性。

本发明授权载流子浓度数据库建立方法、载流子浓度测试方法及测试系统在权利要求书中公布了:1.一种载流子浓度数据库建立方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤: 建立包括有限偶极子模型和德鲁德模型的理论模型,调整所述理论模型的探针有效长度以及有效感应电荷与总感应电荷的比值,以计算载流子浓度已知的标准样品,得到若干第一光谱信息; 采用太赫兹近场检测装置检测所述标准样品的第二光谱信息; 拟合若干所述第一光谱信息和所述第二光谱信息,得到当前载流子浓度对应的最佳拟合模型; 重复上述步骤,将不同的载流子浓度及其对应的光谱信息、最佳拟合模型的探针有效长度和有效感应电荷与总感应电荷的比值存入至载流子浓度数据库中,建立所述载流子浓度数据库; 其中,所述理论模型为: 其中,r为第一反射系数,Ei为入射电场振幅,Es为散射场振幅,αeff为探针有效极化率,C、、为中间量,为第二反射系数,k为有效感应电荷与总感应电荷的比值,H为探针到样品的距离,W0为探针初始有效范围,Rt为探针尖端曲率半径,L为探针有效长度,Wi为探针-样品相互作用后的近场作用范围,Q0为在没有样本的情况下尖端诱导的极化电荷的总量,E0为入射电场强度,为样品介电常数,为高频介电常数,为真空中介电常数,为实验采用频率,为等离子体共振频率,为阻尼系数,n为载流子浓度,e为电子电荷量,m*为空穴或电子的有效质量,c0为真空中光速,为描述载流子本征迁移特性的基准参数,pc为散射参数,、Cr、Cs、、α、β均为常数; 根据上述模型将探针有效极化率αeff进行傅里叶级数展开得到: 其中,Fn为第n阶的幅值,为相位差,j为虚数符号,Ω为探针振动的频率。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人电子科技大学,其通讯地址为:611731 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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