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龙图腾网获悉深圳市东信高科自动化设备有限公司申请的专利一种晶圆加工用等离子除胶机及其加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121310862B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511875379.5，技术领域涉及：H10P50/28；该发明授权一种晶圆加工用等离子除胶机及其加工方法是由李旭东设计研发完成，并于2025-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆加工用等离子除胶机及其加工方法在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆加工环保除胶技术领域，具体涉及一种晶圆加工用等离子除胶机及其加工方法，包括机体、真空泵和导流罩，所述机体的顶部设置有下腔体，所述机体的顶部铰接安装有上腔体，所述上腔体底端的内侧开设有下腔槽，所述下腔槽的顶端安装有圆分气板二，所述上腔体顶端的内侧开设有上腔槽，所述上腔槽的内侧安装有圆分气板一，所述上腔体的顶部连通有工艺气体进气管。本发明通过采用特制驱动电机，促使从动齿环转动，进而带动圆形水冷电极板转动，方便圆形水冷电极板承载晶圆时能够调整作业位置，并以5‑10rpm的低速转动，带动气体在晶圆表面形成薄层流动，提升局部均匀性，能够配合圆周的排气增加气流的均匀度，进一步确保了气体分布的均匀效果。

本发明授权一种晶圆加工用等离子除胶机及其加工方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加工用等离子除胶机，包括机体1、真空泵14和导流罩40，其特征在于：所述机体1的顶部设置有下腔体4，所述机体1的顶部铰接安装有上腔体5，所述上腔体5底端的内侧开设有下腔槽10，所述下腔槽10的顶端安装有圆分气板二11，所述上腔体5顶端的内侧开设有上腔槽12，所述上腔槽12的内侧安装有圆分气板一13，所述上腔体5的顶部连通有工艺气体进气管6，所述上腔体5的正面安装有加装槽口7，所述下腔体4内腔的底部固定安装有若干分流块17，所述分流块17的顶部设置有水冷电极座23，所述水冷电极座23的顶部固定安装有双涡状导流道20，所述水冷电极座23的外侧活动套接有圆形水冷电极板24，所述圆形水冷电极板24和水冷电极座23外沿的相对侧设置有密封圈二27，所述双涡状导流道20的输入端和输出端均连通有循环水道18，所述循环水道18的底部连通有水道循环组件26，所述下腔体4内腔的底部连通有集气道19，所述集气道19的底部连通有连接管16，所述圆形水冷电极板24的外侧通过绝缘件固定套接有从动齿环21，所述从动齿环21的外侧啮合有驱动齿轮22，所述驱动齿轮22的底部传动连接有特制驱动电机25，所述连接管16的一侧连通有分流管31，所述分流管31的底部连通有等离子体反应罐33，所述等离子体反应罐33的内部固定安装有环形电极板34，所述等离子体反应罐33的中间部设置有备用电极头35，所述等离子体反应罐33的底端连通有连通管39，所述连通管39的底端连通有滤罐36，所述滤罐36的内部设置有活性炭滤层37； 所述导流罩40的一侧固定安装有安装板43，所述导流罩40的内部滚动安装有贯流风机44，所述导流罩40的背面连通有进气导管41，所述进气导管41的内部安装有电动阀42。

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