苏州汇影光学技术有限公司刘春获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州汇影光学技术有限公司申请的专利用于边缘曝光设备移动曝光机构的玻璃基板定位方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121348679B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511905879.9，技术领域涉及：G03F9/00；该发明授权用于边缘曝光设备移动曝光机构的玻璃基板定位方法是由刘春;李治显;刘丙辉设计研发完成，并于2025-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于边缘曝光设备移动曝光机构的玻璃基板定位方法在说明书摘要公布了：本发明属于光刻工艺与设备技术领域，具体涉及用于边缘曝光设备移动曝光机构的玻璃基板定位方法，其方法包括：通过计算图像灰度梯度与局部标准差的非对称指数，精确识别玻璃基板上表面的真实边缘点；建立弹性物理模型计算边缘点因悬空产生的垂直下沉量，并结合透视几何原理对观测坐标进行校正，以还原其在理想平面下的真实物理位置；对真实坐标点集进行加权拟合，精确计算出玻璃基板的旋转与平移偏差，从而实现高精度、高鲁棒性的对准控制。
本发明授权用于边缘曝光设备移动曝光机构的玻璃基板定位方法在权利要求书中公布了：1.用于边缘曝光设备移动曝光机构的玻璃基板定位方法，其特征在于，包括： 获取玻璃基板边缘区域的灰度图像，基于灰度梯度幅值和局部窗口内像素灰度值的标准差获取像素点的非对称指数；识别非对称指数的局部极大值，得到玻璃基板上表面的候选边缘点； 基于真空吸附区边缘的坐标与候选边缘点的坐标获取候选边缘点到真空吸附区边缘在玻璃基板平面上的水平距离；基于玻璃基板的材料属性和所述水平距离，获取候选边缘点的垂直下沉量； 基于候选边缘点的垂直下沉量和观测坐标获取候选边缘点的真实坐标； 对真实坐标的点集进行直线拟合，得到玻璃基板边缘的直线方程；基于直线方程计算玻璃基板的旋转偏差和平移偏差，发送偏差量至移动曝光机构的运动控制器。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州汇影光学技术有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市高新区通安镇真北路88号7号厂房西侧一半的1-2楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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