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龙图腾网获悉厦门银科启瑞半导体科技有限公司申请的专利一种LED外延片用切割方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121358070B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511924303.7，技术领域涉及：H10H20/01；该发明授权一种LED外延片用切割方法是由张银桥;周珊;卢伟;林富杰;王建红设计研发完成，并于2025-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种LED外延片用切割方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种LED外延片用切割方法，涉及晶圆切割技术领域，包括：将长链共聚物两性缓冲树脂作为A组分，氨基功能化金属螯合捕获剂作为B组分，混合配制成保护液；将保护液涂覆于LED外延片表面，形成液膜；对液膜进行烘烤，使液膜中的溶剂和挥发性组分逸出，在LED外延片表面形成固态保护层；对LED外延片进行切割；对切割后的LED外延片进行冲洗，使固态保护层迅速解离，并携带切割碎屑与金属熔渣从晶圆表面彻底脱落。本发明通过构建兼具应力缓冲与主动捕获功能的防护体系，利用分子流变特性有效耗散高速切割产生的机械剪切力，防止晶圆崩边，并通过亲水诱导的溶胀崩解机制实现彻底的水洗脱附，避免了电极氧化与残留。

本发明授权一种LED外延片用切割方法在权利要求书中公布了：1.一种LED外延片用切割方法，其特征在于，包括以下步骤： S1、配置保护液：将由甲基丙烯酸、聚乙二醇单甲基丙烯酸酯及甲基丙烯酰氧乙基三甲基氯化铵共聚而成的两性丙烯酸树脂作为A组分，将由柠檬酸与乙二胺经熔融缩聚制得的超支化聚酰胺作为B组分；按质量比9:1~11:1称取A组分和B组分进行混合，随后加入挥发性碱性调节剂将体系pH调整至8.3~8.7，进行pH调节及粘度稳定化处理，所述挥发性碱性调节剂为氨水或沸点低于100℃的水溶性有机胺；再加入去离子水稀释至粘度为300~500mPa·s，经超声消泡处理后制得保护液； S2、动态涂覆：将步骤S1制得的保护液通过梯度旋涂工艺涂覆于LED外延片表面，形成液膜； S3、变温固化：对液膜进行梯度升温烘烤，使液膜中的溶剂和挥发性组分逸出，在LED外延片表面形成固态保护层； S4、实施切割：对覆盖有固态保护层的LED外延片进行机械刀轮切割或激光隐形切割； S5、相变清洗：利用去离子水对切割后的LED外延片进行冲洗，冲洗压力设定为0.4~0.6MPa；利用去离子水环境诱导聚合物链段发生高倍率吸水溶胀，破坏固化膜层的致密结构，从而使固态保护层迅速解离，并携带切割碎屑与金属熔渣从晶圆表面彻底脱落； A组分包括以下重量份原料：35~45份甲基丙烯酸、25~35份数均分子量为400~600的聚乙二醇单甲基丙烯酸酯、25~35份甲基丙烯酰氧乙基三甲基氯化铵、0.2~0.6份链转移剂、0.6~1.0份引发剂和380~420份去离子水； B组分包括以下重量份原料：18~20份柠檬酸、6~8份乙二胺和90~110份溶剂； A组分的制备方法为：在反应容器中加入部分去离子水，通入惰性气体除氧处理20~40min，升温至70~80℃；将甲基丙烯酸、聚乙二醇单甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酰氧乙基三甲基氯化铵与剩余去离子水混合制得单体相，将引发剂溶解制得引发相；采用双滴加聚合工艺同步滴加单体相和引发相，其中链转移剂溶解于单体相中，在滴加至45~55%进度时开始加入，滴加处理1~2h；滴加结束后升温至80~90℃，设定250~350rmin搅拌熟化3~5h，降温后调节pH至中性，制得A组分；链转移剂选用巯基乙酸，用量调整为0.2~0.6重量份； B组分的制备方法为：将柠檬酸溶解于无水乙醇溶剂中，置于冰浴环境下冷却至0~5℃，缓慢滴加乙二胺，控制滴加速率防止反应体系剧烈放热，搅拌反应30~60min形成铵盐中间体；随后转移至旋转蒸发仪中，在减压条件下完全去除溶剂，得到固态铵盐中间体；将固态铵盐中间体置于反应釜中，在氮气保护下升温至145~155℃，进行熔融缩聚反应3~5h；反应过程中利用在线粘度计或搅拌功率监测仪监控体系粘度，当监测到在剪切速率为10s-1条件下的熔体粘度达到60~80Pa·s时，立即停止加热并迅速降温至室温，以防止体系发生交联凝胶化；所得产物置于无水乙醇中，在40~50℃水浴条件下搅拌回流并配合超声分散，直至完全溶解，调节固含量至40%~50%，制得醇溶性的B组分溶液。

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