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龙图腾网获悉青岛贝斯兰半导体科技有限公司申请的专利一种基于晶圆烘干的烘干工艺质量监测方法、设备及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121391854B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511947702.5，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权一种基于晶圆烘干的烘干工艺质量监测方法、设备及介质是由李超;于宏伟;陈娜;侯超设计研发完成，并于2025-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于晶圆烘干的烘干工艺质量监测方法、设备及介质在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于晶圆烘干的烘干工艺质量监测方法、设备及介质，属于晶圆烘干工艺监测技术领域，用于解决现有晶圆烘干工艺中，往往是最终的产出成品监测，难以实现中间环节流程的工艺监测与瑕疵控制，不利于晶圆整体的良品率，容易造成资源浪费技术问题。方法包括：对传输装载完成的晶圆表面进行水膜覆盖下的完整度监测处理；对物理甩干后的晶圆表面图像进行液体负荷识别计算，得到表面水膜斑点图；对表面水膜斑点图进行有关水膜像素下的体积计算；将剩余去离子水膜体积数据与置换后气体数据进行气体浓度反应模型计算处理；对晶圆进行晶圆表面的微观质量检验处理，得到后置处理质量数据；生成用于晶圆烘干流程监测下的烘干工艺监测报告。

本发明授权一种基于晶圆烘干的烘干工艺质量监测方法、设备及介质在权利要求书中公布了：1.一种基于晶圆烘干的烘干工艺质量监测方法，其特征在于，所述方法包括： 通过干燥工艺腔室中的光谱仪，对传输装载完成的晶圆表面进行水膜覆盖下的完整度监测处理，并基于表面水渍监测数据，得到前置预处理质量数据； 根据所述前置预处理质量数据，对物理甩干后的晶圆表面图像进行液体负荷识别计算，得到每个晶圆的表面水膜斑点图； 对所述表面水膜斑点图进行有关水膜像素下的体积计算，得到剩余去离子水膜体积数据，并生成物理甩干质量数据； 基于所述物理甩干质量数据，将处于所述干燥工艺腔室中晶圆表面的所述剩余去离子水膜体积数据与置换后气体数据进行有关气体浓度反应模型下的计算处理，得到气体干燥置换质量数据； 根据所述气体干燥置换质量数据，对烘干后的晶圆进行晶圆表面的微观质量检验处理，得到后置处理质量数据； 基于所述前置预处理质量数据、所述物理甩干质量数据、所述气体干燥置换质量数据以及所述后置处理质量数据，生成用于晶圆烘干流程监测下的烘干工艺监测报告。

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