北京和崎精密科技有限公司王振强获国家专利权
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龙图腾网获悉北京和崎精密科技有限公司申请的专利一种搬运装置及晶圆存储装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121398518B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511924747.0,技术领域涉及:H10P72/30;该发明授权一种搬运装置及晶圆存储装置是由王振强;王金池;郑瑜谦设计研发完成,并于2025-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种搬运装置及晶圆存储装置在说明书摘要公布了:本发明涉及晶圆搬运设备技术领域,本发明提供了一种搬运装置及晶圆存储装置,其中一种搬运装置用于搬运晶圆盒或晶圆片,基础主体用于在机械臂机构的带动下进行运动;晶圆盒搬运机构用于紧固晶圆盒;晶圆片搬运机构用于紧固晶圆片;驱动件滑动设于基础主体上。将晶圆盒搬运机构和晶圆片搬运机构设置在同一个基础主体上,实现了两种搬运功能的集成,有效减小搬运装置的体积,提高空间利用率。晶圆盒搬运机构和晶圆片搬运机构均具备闲置状态和作业状态,能够在驱动件的作用下切换。两种搬运机构不会同时展开,避免空间浪费,同时降低部件干涉的风险。通过上述技术方案,解决了相关技术中现有的搬运装置占用空间大的技术问题。
本发明授权一种搬运装置及晶圆存储装置在权利要求书中公布了:1.一种搬运装置,用于搬运晶圆盒或晶圆片,其特征在于,包括: 基础主体100,用于安装在机械臂机构200的执行末端,并在所述机械臂机构200的带动下进行运动; 晶圆盒搬运机构300,设于所述基础主体100上,所述晶圆盒搬运机构300具有收拢至所述基础主体100上的闲置状态和从所述基础主体100上展开以转移晶圆盒的作业状态; 晶圆片搬运机构400,设于所述基础主体100上,所述晶圆片搬运机构400同样具有收拢至所述基础主体100上的闲置状态和从所述基础主体100上展开以转移晶圆片的作业状态; 驱动件500,滑动设于所述基础主体100上,所述驱动件500的滑动行程包括晶圆盒搬运区域501、过渡区域502和晶圆片搬运区域503; 所述驱动件500位于所述过渡区域502时,所述晶圆盒搬运机构300和所述晶圆片搬运机构400均处于闲置状态; 所述驱动件500位于所述晶圆盒搬运区域501时,能够仅驱动所述晶圆盒搬运机构300从所述基础主体100上展开以切换至作业状态; 所述驱动件500位于所述晶圆片搬运区域503时,能够仅驱动所述晶圆片搬运机构400从所述基础主体100上展开以切换至作业状态; 所述晶圆盒搬运机构300包括: 夹爪301,滑动设于所述基础主体100上,所述夹爪301的滑动方向与所述驱动件500的滑动方向垂直,所述夹爪301成对设置且对称分布; 第一安装块303,滑动设于所述基础主体100上,所述第一安装块303的滑动方向与所述驱动件500的滑动方向平行所述第一安装块303通过两个第一连杆302与两个所述夹爪301一一对应铰接,所述第一安装块303滑动后能够借助所述第一连杆302驱动两个所述夹爪301相向或相背滑动,以使两个所述夹爪301从所述基础主体100上展开或收拢; 所述晶圆片搬运机构400包括: 托盘401,摆动设于所述基础主体100上; 第二安装块403,滑动设于所述基础主体100上,所述第二安装块403的滑动方向与所述驱动件500的滑动方向平行,所述第二安装块403通过第二连杆402与所述托盘401铰接,所述第二安装块403滑动后能够借助所述第二连杆402驱动所述托盘401摆动,以使所述托盘401从所述基础主体100上展开或收拢。
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