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龙图腾网获悉苏州航凯微电子技术有限公司申请的专利一种三轴MEMS惯性开关及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121416375B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511992138.9，技术领域涉及：H01H59/00；该发明授权一种三轴MEMS惯性开关及其制备方法是由盖广洪;贾雪松;颜逊设计研发完成，并于2025-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种三轴MEMS惯性开关及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种三轴MEMS惯性开关及其制备方法，其包括：基板，其上设有两个X向电极组、两个Y向电极组及多个Z向下电极，相邻X向下电极与其之间的Z向下电极围设出第一活动槽，相邻Y向下电极与其之间的Z向下电极围设出第二活动槽；结构层，其包括键合块、悬臂梁及质量块，键合块与基板键合连接，悬臂梁连接键合块及质量块，质量块设有可设置于第一活动槽或第二活动槽中的上电极，上电极与Z向下电极均间隔设置；盖板，其设有避让腔体。本发明采用电极环绕式排布与高度差设计，实现三轴触发通道物理隔离，避免信号串扰，精准限位质量块位移；工艺简化易量产，阈值调控灵活；盖板密封防护，提升器件可靠性与环境适应性。

本发明授权一种三轴MEMS惯性开关及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种三轴MEMS惯性开关，其特征在于：包括： 基板，所述基板中心为功能区域，其上设有围绕所述功能区域设置的两个X向电极组、两个Y向电极组以及多个Z向下电极，两个所述Y向电极组沿第一方向对称设置，任意的所述Y向电极组包括至少三个沿第二方向间隔排列的Y向下电极；两个所述X向电极组沿第二方向对称设置，任意的所述X向电极组包括至少三个沿第一方向间隔排列的X向下电极，部分所述Z向下电极分别设置于相邻的两个所述X向下电极之间，其余的所述Z向下电极分别设置于相邻的两个所述Y向下电极之间，且所述X向下电极以及所述Y向下电极在所述基板厚度方向上凸出于所述Z向下电极，以通过相邻的所述X向下电极与其之间的所述Z向下电极围设出第一活动槽，且通过相邻的所述Y向下电极与其之间的所述Z向下电极围设出第二活动槽； 结构层，所述结构层包括键合块、悬臂梁以及质量块，所述键合块与所述基板键合连接，所述悬臂梁一端连接于所述键合块，另一端连接所述质量块，所述质量块朝向所述基板的一侧设有四个上电极组，任意的所述上电极组均包括两个相互电连接的上电极，其中两个所述上电极组对应两个所述X向电极组设置，其上的所述上电极均设置于所述第一活动槽中，且与其对应的所述X向下电极及所述Z向下电极均间隔设置；另外的两个所述上电极组对应两个所述Y向电极组设置，其上的所述上电极均设置于所述第二活动槽中，且与其对应的所述Y向下电极及所述Z向下电极均间隔设置； 盖板，所述盖板与所述结构层键合连接，其朝向所述结构层的一侧设有供所述质量块移动的避让腔体。

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