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苏州芯矽电子科技有限公司李佳森获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州芯矽电子科技有限公司申请的专利自适应不同规格晶圆寻边变距定位装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121419591B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202512007141.7,技术领域涉及:H10P72/50;该发明授权自适应不同规格晶圆寻边变距定位装置及方法是由李佳森;张涛;张洲文;陈令;张少阳;陈晨设计研发完成,并于2025-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。

自适应不同规格晶圆寻边变距定位装置及方法在说明书摘要公布了:本发明揭示了一种自适应不同规格晶圆寻边变距定位装置及方法,包括机架,机架上设有承载组件,承载组件的正上方设有识别组件;承载组件的一侧设有六寸寻边组件和八寸寻边组件;八寸寻边组件的正下方设有上顶导板,用以将八寸晶圆顶升至夹持变距组件内;六寸寻边组件的一侧设有晶圆通用导板,晶圆通用导板和六寸寻边组件之间设有六轴机械臂;上顶导板和晶圆通用导板之间设有驱动夹持变距组件移动的驱动组件。本发明的有益效果主要体现在:该装置实现对六寸晶舟和八寸晶舟的识别、对六寸晶圆和八寸晶圆的寻边、对六寸晶圆的移载以及对八寸晶圆的变距移载,全程自动化操作,无需人工操作,降低工作强度,极大地提高工作效率和良品率。

本发明授权自适应不同规格晶圆寻边变距定位装置及方法在权利要求书中公布了:1.自适应不同规格晶圆寻边变距定位装置,包括机架1,其特征在于:所述机架1上设有用以承载六寸晶舟100或八寸晶舟200的承载组件2,所述承载组件2的正上方设有用对其进行视觉识别的识别组件;所述承载组件2的一侧设有六寸寻边组件3和八寸寻边组件4,所述六寸寻边组件3和承载组件2以及所述八寸寻边组件4和承载组件2之间均设有移载组件; 所述八寸寻边组件4的正下方设有上顶导板41,所述上顶导板41可在上顶组件5的驱动下向上移动,将所述八寸晶舟200内的八寸晶圆顶升至夹持变距组件6内;所述六寸寻边组件3的一侧设有设置在所述机架1上的晶圆通用导板7,所述晶圆通用导板7可在顶升组件8的驱动下上下移动,所述晶圆通用导板7和六寸寻边组件3之间设有用以将所述六寸晶舟100内的六寸晶圆夹持至所述晶圆通用导板7上的六轴机械臂;所述上顶导板41和晶圆通用导板7之间设有驱动所述夹持变距组件6移动的驱动组件9; 所述夹持变距组件6至少包括设置在所述驱动组件9上的支架60,所述支架60上固设有框体61,所述框体61内置有固定板62以及可相对其移动的滑动板63,所述滑动板63和固定板62的内侧设有一组夹持板64,相对设置的所述夹持板64相互配合将八寸晶圆夹持,相邻设置的所述夹持板64之间的距离可在推拉组件65的作用下改变,以调节所述八寸晶圆之间的距离。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州芯矽电子科技有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市工业园区江浦路41号1栋;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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