浙江大学张泽君获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利一种基于Fano共振的MIM波导传感器及其应用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121499433B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610044909.X，技术领域涉及：G01N21/55；该发明授权一种基于Fano共振的MIM波导传感器及其应用方法是由张泽君;苏锦波;李煜;浦诗琦;孙施枭;徐敬;宋宏设计研发完成，并于2026-01-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于Fano共振的MIM波导传感器及其应用方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种基于Fano共振的MIM波导传感器及其应用方法，涉及光学器件技术领域，该方法包括基板；基板上镀有金属镀层；金属镀层上蚀刻有U形谐振腔，U形谐振腔下方蚀刻有金属—介质—金属MIM直波导；通过将宽谱光从直波导左侧入射并从右侧出射，当共振被激发时，共振波长对应的光束能量耦合到U形谐振腔中，使得该波长的透射率下降，形成透射峰；该传感器具有宽平稳的低折射率检测范围。
本发明授权一种基于Fano共振的MIM波导传感器及其应用方法在权利要求书中公布了：1.一种基于Fano共振的MIM波导传感器，其特征在于，包括：基板； 所述基板上镀有金属镀层；所述金属镀层上蚀刻有U形谐振腔，所述U形谐振腔通过一段矩形腔和所述矩形腔两端分别连通的两个半圆环形腔构成；所述金属镀层采用金属银材料；所述金属银材料的折射率通过Debye-Drude模型确定，其表示为：；其中，ε∞为银的高频介电常数，εs为静态介电常数，τ为弛豫时间，σ为银的电导率，i为虚数单位，为银的介电常数，ω为角频率，ω0为自由空间介电常数； 所述U形谐振腔的下方蚀刻有金属—介质—金属MIM直波导；所述U形谐振腔内用于放置待测分析物； 其中，所述基于Fano共振的MIM波导传感器的应用方法，包括以下步骤：将待测分析物填充于U形谐振腔内；将宽谱光从MIM直波导的一端入射后，当特定波长对应的光束能量能够耦合到U形谐振腔中时，采用光谱仪对MIM直波导另一端的出射光进行光谱检测，得出该分析物对应的共振波长值；其中所述特定波长为待测分析物折射率对应的共振波长。
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