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龙图腾网获悉北京博视像元科技有限公司申请的专利一种用于半导体无图暗场检测的高速相机及检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121499514B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610043876.7，技术领域涉及：G01N21/88；该发明授权一种用于半导体无图暗场检测的高速相机及检测方法是由杨军超;张希伦设计研发完成，并于2026-01-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于半导体无图暗场检测的高速相机及检测方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种用于半导体无图暗场检测的高速相机及检测方法，涉及半导体检测技术领域，其中包括：集成可调激光光源阵列、高性能TDI相机、预扫描传感器，对预扫描区域进行亮度信息采集，生成预扫描反射率图谱；通过可调激光光源阵列，用不同照明光先后照射预扫描区域，生成多幅扫描图像并提取特征生成多模态差分特征场；通过多模态照明与缺陷特征协同增强算法预测区域内主要缺陷类型生成对应照明模式指令；通过TDI参数动态调制算法计算最优TDI参数生成TDI相机控制指令；按照两种指令扫描晶圆，采集原始图像数据输入深度缺陷分类模型，输出缺陷信息图及对应信息。本申请旨在解决半导体检测精度与效率难以平衡的难题。

本发明授权一种用于半导体无图暗场检测的高速相机及检测方法在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体无图暗场检测的检测方法，其特征在于，包括： 集成可调激光光源阵列、高性能TDI相机、预扫描传感器，通过预扫描传感器对预扫描区域进行亮度信息采集，实时生成预扫描反射率图谱； 通过可调激光光源阵列，用不同波长、入射角的照明光先后照射预扫描区域，生成多幅扫描图像并提取特征生成多模态差分特征场； 针对多模态差分特征场通过多模态照明与缺陷特征协同增强算法识别缺陷，预测该区域内主要缺陷类型，依据缺陷类型生成对应照明模式指令； 根据预扫描反射率图谱通过TDI参数动态调制算法，计算最优TDI参数，生成TDI相机控制指令； 根据TDI相机控制指令与照明模式指令扫描晶圆表面，采集原始图像数据并标注元数据标签，输入深度缺陷分类模型，输出缺陷信息图及对应信息； 根据预扫描反射率图谱通过TDI参数动态调制算法，计算最优TDI参数，生成TDI相机控制指令，包括： 根据预扫描反射率图谱，计算积分数极值，结合策略权重得到最优积分数，并以此生成控制参数三元组； 将参数三元组编码成具体的相机寄存器读写指令包，并嵌入循环冗余校验码，得到TDI相机控制指令。

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