买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉昆山科比精工设备有限公司申请的专利一种晶圆复合旋转装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121510922B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610030189.1，技术领域涉及：H10P72/76；该发明授权一种晶圆复合旋转装置是由王万生设计研发完成，并于2026-01-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆复合旋转装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆复合旋转装置，用于解决现有技术中晶圆承载装置难以安装多片晶圆，且不能保证多片晶圆位置调节和运动控制的一致性，导致片间均匀性波动较大，严重制约高端半导体器件的量产良率和生产成本控制的问题。为本发明提供一种晶圆复合旋转装置，包括：加工槽体，所述加工槽体的左部和右部分别设置有覆膜段和清洗段，所述覆膜段和清洗段的两个传送导轨间均滑动安装有晶圆复合旋转机构，晶圆复合旋转机构用于承载十片晶圆同步进行清洁和金属化加工，通过自转和公转的复合运动，在空间上优化流体分布，使清洁剂和金属化处理液与晶圆接触更充分，并能与环形阳极阵列机构配合，使晶圆表面每点都经历各种电场条件。

本发明授权一种晶圆复合旋转装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆复合旋转装置，其特征在于，包括：加工槽体1，所述加工槽体1的左部和右部分别设置有覆膜段101和清洗段102，所述覆膜段101和清洗段102的上部平行设置有两个传送导轨103，所述覆膜段101的下部内对称设置有两根注液管104，所述覆膜段101的前部安装有环形阳极阵列机构2，所述清洗段102的前部等距安装有十根喷流管105，且清洗段102下部的后壁内侧设置有一根注液管104，所述覆膜段101和清洗段102的两个传送导轨103间均滑动安装有晶圆复合旋转机构3； 其中，所述清洗段102用于在晶圆覆膜加工前，清洗去除其表面的杂质和污染物； 其中，所述覆膜段101用于在晶圆表面沉积金属层； 其中，所述环形阳极阵列机构2用于分段控制不同区域的电流密度分布； 其中，所述晶圆复合旋转机构3用于承载十片晶圆同步进行清洁和金属化加工，通过自转和公转的复合运动，在空间上优化流体分布，使清洁剂和金属化处理液与晶圆接触更充分，并能与环形阳极阵列机构2配合，使晶圆表面每点都经历各种电场条件。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人昆山科比精工设备有限公司，其通讯地址为：215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇玉杨路366号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。