中国科学技术大学李子豪获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学技术大学申请的专利扫描探针显微镜的探针步进扫描一体组件及步进扫描方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121633549B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610155874.7，技术领域涉及：G01Q10/00；该发明授权扫描探针显微镜的探针步进扫描一体组件及步进扫描方法是由李子豪;吴昊;陈明昊;杨奥翔;陆轻铀设计研发完成，并于2026-02-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本扫描探针显微镜的探针步进扫描一体组件及步进扫描方法在说明书摘要公布了：本发明涉及探针扫描技术领域，具体是扫描探针显微镜的探针步进扫描一体组件及步进扫描方法。本发明包括框架和固定端外缘固定在框架上的压电管，压电管的外表面沿其轴向设置有至少三条分区缝，以将压电管等分隔形成至少三个电极分区，相邻电极分区的分区缝处还对应设置有贯穿压电管内外的解耦缝，解耦缝的起点位于压电管的自由端，且各解耦缝等长，并小于分区缝的长度；压电管的内侧设置有与每个电极分区均弹性抵接的弹性体，且任意一电极分区与弹性体的滑动摩擦力小于其他电极分区与弹性体的静摩擦力之和，弹性体上的邻近压电管固定端处安装有探针组件。本发明将传统的粗逼近与精细扫描功能集成于单一压电元件上，从而简化系统结构，提高性能。
本发明授权扫描探针显微镜的探针步进扫描一体组件及步进扫描方法在权利要求书中公布了：1.扫描探针显微镜的探针步进扫描一体组件，其特征在于，包括框架10和固定端外缘固定在框架10上的压电管50，压电管50的外表面沿其轴向设置有至少三条分区缝51，以将压电管50等分隔形成至少三个电极分区，相邻电极分区的分区缝51处还对应设置有贯穿压电管50内外的解耦缝52，解耦缝52的起点位于压电管50的自由端，且各解耦缝52等长，并小于分区缝51的长度；压电管50的内侧设置有与每个电极分区均弹性抵接的弹性体30，且任意一电极分区与弹性体30的滑动摩擦力小于其他电极分区与弹性体30的静摩擦力之和，弹性体30上的邻近压电管50固定端处安装有探针组件20。
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