浙江斯凯沃微电子有限公司杨阳获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江斯凯沃微电子有限公司申请的专利一种半导体抛光液冷却装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224074118U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520872549.3，技术领域涉及：B24B57/00；该实用新型一种半导体抛光液冷却装置是由杨阳;何波;凌观爽设计研发完成，并于2025-05-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体抛光液冷却装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体抛光液冷却装置，包括供液的桶体，所述桶体的桶壁是由内壁和外壁构成的双层结构，并形成相对内侧的储液腔和相对外侧的循环冷却腔，所述储液腔内增设有膨胀单元，所述膨胀单元包括活动连接于桶体底部的支杆，支杆的顶部设有环形管，所述环形管通过连杆支撑于支杆上，所述环形杆的底部周向连通有多个向下垂的膨胀套，膨胀套的底部接攘或紧挨储液腔底部。本实用新型采用在储液腔内增设膨胀单元的方式，通过灵活调整抛光液在桶内周向的贴壁高度来改变其实时的冷接触面积，使得无论桶内的抛光液容量多少，都能够尽可能大面积贴合桶的周向内壁，以充分实现抛光液的冷却。
本实用新型一种半导体抛光液冷却装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体抛光液冷却装置，包括供液的桶体，所述桶体的桶壁是由内壁和外壁构成的双层结构，并形成相对内侧的储液腔和相对外侧的循环冷却腔，其特征在于：所述储液腔内增设有膨胀单元，所述膨胀单元包括活动连接于桶体底部的支杆，支杆的顶部设有环形管，所述环形管通过连杆支撑于支杆上，所述环形管的底部周向连通有多个向下垂的膨胀套，膨胀套的底部接攘或紧挨储液腔底部，通过改变储液腔内浸没于抛光液的膨胀套体积，以改变抛光液贴合循环冷却腔内壁的液面高度。
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