琳科技股份有限公司小野弘文获国家专利权
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龙图腾网获悉琳科技股份有限公司申请的专利气化器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224083992U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202490000102.0，技术领域涉及：H10P14/60；该实用新型气化器是由小野弘文;山本健太;八木茂雄设计研发完成，并于2024-05-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本气化器在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种气化器，其能够以尽可能低的温度，无加热不均地高效且稳定地使半导体制造用的液体原料气化。气化器10由供给半导体制造用的液体原料LM的液体原料供给部12、在内部具有使被供给的所述液体原料LM气化的气化用空间K的气化部20、以及将气化后的原料气体VG向下一工序送出的原料气体排出部40构成。气化部20包含：气化器主体22，其由供红外线透射的透明部件构成，供红外线穿过所述气化用空间K而从一方的侧壁22h透射至相对的另一方的侧壁22h；透明的球状体30，其填充于气化用空间K内，供红外线透射；加热器H，其相对于气化器主体22设置具有宽度M的间隙d地配置，对气化器主体22照射红外线；以及反射部件28，其将加热器H置于中间而与所述气化器主体22相对的面为供红外线反射的镜面28k。
本实用新型气化器在权利要求书中公布了：1.一种气化器10，其由供给半导体制造用的液体原料LM的液体原料供给部12、在内部具有使被供给的所述液体原料LM气化的气化用空间K的气化部20、以及将气化后的原料气体VG向下一工序送出的原料气体排出部40构成，其特征在于， 所述气化部20包含： 气化器主体22，其供红外线穿过所述气化用空间K而从一方的侧壁22h透射至相对的另一方的侧壁22h，由透明部件构成； 透明的球状体30，其填充于所述气化用空间K内，供红外线透射； 加热器H，其相对于所述气化器主体22设置具有宽度M的间隙d地配置，对所述气化器主体22照射红外线；以及 反射部件28，其将所述加热器H置于中间而与所述气化器主体22相对的面为供红外线反射的镜面28k。
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