越润集成电路(绍兴)有限公司李慧获国家专利权
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龙图腾网获悉越润集成电路(绍兴)有限公司申请的专利一种可调节的晶圆洗边装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224083993U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520755806.5，技术领域涉及：H10P70/00；该实用新型一种可调节的晶圆洗边装置是由李慧;陶佳强;江斐;王天玉;潘波设计研发完成，并于2025-04-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可调节的晶圆洗边装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种可调节的晶圆洗边装置，包括用于固定晶圆的清洗平台和活动板，所述活动板沿晶圆径向具有运动量，所述活动板上设置有支撑架，所述支撑架具有供晶圆边缘进入的配合槽，所述支撑架上设置有洗边喷头，所述支撑架转动连接于活动板，所述活动板设置有定位所述支撑架转动角度的驱动件,所述支撑架上且位于所述配合槽内设置有用于检测晶圆翘曲角度的检测件。本申请具有以下效果：在进行洗边时，使得晶圆边缘进入至配合槽内，首先通过检测件测得晶圆边缘的翘曲程度，获得对应的转动角度，通过使得支撑架转动对应角度，从而使洗边喷头出液的方向尽可能的垂直于晶圆表面，从而获得对晶圆边缘更好的洗边效果。
本实用新型一种可调节的晶圆洗边装置在权利要求书中公布了：1.一种可调节的晶圆洗边装置，其特征在于，包括用于固定晶圆的清洗平台100和活动板110，所述活动板110沿晶圆径向具有运动量，所述活动板110上设置有支撑架101，所述支撑架101具有供晶圆边缘进入的配合槽117，所述支撑架101上设置有洗边喷头114，所述支撑架101转动连接于活动板110，以适配晶圆翘曲程度,所述活动板110设置有定位所述支撑架101转动角度的驱动件，所述支撑架101上且位于所述配合槽117内设置有用于检测晶圆翘曲角度的检测件。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人越润集成电路(绍兴)有限公司，其通讯地址为：312000 浙江省绍兴市越城区临江路500号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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