瀛芯诚半导体科技江苏有限公司王佳滢获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉瀛芯诚半导体科技江苏有限公司申请的专利一种用于等离子清洗设备的冷却盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224084001U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520523410.8，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种用于等离子清洗设备的冷却盘是由王佳滢;史延锋设计研发完成，并于2025-03-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于等离子清洗设备的冷却盘在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体技术领域，公开了一种用于离子清洗设备的冷却盘。一种用于等离子清洗设备的冷却盘，包括导热下盖板、导热上盖板和D形冷却管；其中，导热上盖板设有安装槽，安装槽的截面为D形，导热下盖板固定安装在导热上盖板上，安装槽的开口朝向导热下盖板；D形冷却管设置在安装槽内，且D形冷却管的形状与安装槽的形状相匹配，D形冷却管与外部的冷却源相连通。本申请提供的一种用于等离子清洗设备的冷却盘，在工作过程中，D形冷却管能够增大D形冷却管与导热上盖板的接触面积，从而能够加快却液体冷却本申请用于等离子清洗设备的冷却盘速度，使放置在冷却盘的晶圆在被等离子清洗过程始终处于稳定的温度，提高了生产效率。
本实用新型一种用于等离子清洗设备的冷却盘在权利要求书中公布了：1.一种用于等离子清洗设备的冷却盘，其特征在于，包括 导热下盖板1； 导热上盖板2，所述导热上盖板2上设有安装槽22，所述安装槽22的截面为D形，所述安装槽22的弧面远离所述导热下盖板1，所述导热下盖板1固定安装在所述导热上盖板2上，所述安装槽22的开口朝向所述导热下盖板1； D形冷却管5，所述D形冷却管5设置在所述安装槽22内，且所述D形冷却管5的形状与所述安装槽22的形状相匹配，所述D形冷却管5与外部的冷却源相连通。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人瀛芯诚半导体科技江苏有限公司，其通讯地址为：215300 江苏省苏州市昆山市周市镇华岗路长江智创产业园五号楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励