天津维普泰克科技发展有限公司王彬获国家专利权
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龙图腾网获悉天津维普泰克科技发展有限公司申请的专利一种可快速安装的晶圆加热盘结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224084002U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520585023.7,技术领域涉及:H10P72/00;该实用新型一种可快速安装的晶圆加热盘结构是由王彬;张彬彬;庞井成设计研发完成,并于2025-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可快速安装的晶圆加热盘结构在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种可快速安装的晶圆加热盘结构,包括圆盘结构的加热主体,所述加热主体的底面竖直设置有与接加热管连接的正极杆和负极杆、用于限定加热主体竖直位置和水平角度的定位杆,所述定位杆长于正极杆和负极杆,所述定位杆的下端设有定位凸片,所述加热主体包括顶板和底板,所述顶板底面开设波浪形的加热槽,所述加热槽内布设加热管。本实用新型能够方便安装加热盘,加热盘能均匀加热。
本实用新型一种可快速安装的晶圆加热盘结构在权利要求书中公布了:1.一种可快速安装的晶圆加热盘结构,其特征在于,包括圆盘结构的加热主体1,所述加热主体1的底面竖直设置有与接加热管101连接的正极杆2和负极杆3、用于限定加热主体1竖直位置和水平角度的定位杆4,所述定位杆4长于正极杆2和负极杆3,所述定位杆4的下端设有定位凸片401。
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